研究開発技術検索

GaNデバイスの低損失化を図る「GaN高濃度コンタクト電極形成処理装置」の開発

本研究は、GaNデバイスのコンタクト抵抗を低減し、デバイス効率を高めるための「高濃度コンタクト電極形成処理装置」の開発を目的としている。具体的には、ピコ秒レーザによるGaN層の再成長技術を用い、再現性と均一性を持った高濃度層を形成する装置の試作が行われた。この装置は、2インチウエハ対応の成膜チャンバーや極座標スキャン機構を備え、膜厚やキャリア濃度の均一化が可能である。
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新型コロナウイルス等の接触感染症を防ぐ非接触スイッチのための短焦点空中映像光学素子の開発と低コスト化

空中映像の光源側の体積を縮⼩させ、⽴体空中映像表⽰も可能とする光学系を設計、試作した。また、空中映像光学素⼦で発⽣する迷光とゴースト像を抑制する⽴体遮光マスクを設計、試作した。更に空中映像光学素⼦を成形するための電鋳スタンパーを安価に量産製造する技術を確⽴した。
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次世代半導体プロセスに対応可能な超臨界技術を用いたウエハ乾燥技術の開発

従来技術の問題点としては、①処理時間が長いこと、②コンタミ（パーティクル、メタルコンタミ）が多いこと、③倒壊やコンタミを評価する技術が不十分であることが挙げられる。 そこで株式会社レクザムでは、実用化に成功している既存の超臨界乾燥装置をさらに高度化することで、乾燥時間の短縮やコンタミ削減を実現した。 産業技術総合研究所は、集積デバイス開発技術やTIA推進センター（TIA）のスーパークリーンルーム（SCR）を活用し、金属汚染検査やパーティクル検査を高精度で実施・評価するとともに、試験用に製作した微細パターンを用いて超臨界乾燥の効果を検証した。
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ユーグレナ由来の高アスペクト比パラミロンナノファイバーの大量調製法確立と素材利用への展開

宮崎大学が開発した新種のユーグレナ株を高効率で培養し、産業技術総合研究所が開発した技術を基盤に、ユーグレナからパラミロンを抽出し、さらにそのパラミロンを高アスペクト比のナノファイバーとして調製する技術の確立を目指した。このパラミロンナノファイバー（PNF）は、中間品を食品添加物等の栄養素として事業化し、最終製品をナノファイバーとして衣料用繊維等を始めとする各種工業製品へ混練し、品質、生産性を向上させることを目指す。将来は樹脂・ゴムへ混錬し、自動車・家電等の樹脂部材の機能高度化に寄与する。
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EV化時代に増大する磁気センサの需要を見据え検査能力を3倍に向上させた磁気センサ検査装置の開発

本事業は、磁気センサの検査能力を従来比で3倍以上に向上させることを目的とした技術開発である。EV化により、車載用磁気センサの需要が大幅に増加していることを踏まえ、より効率的な検査装置の開発が急務であった。具体的には、磁場の立ち上がり時間を従来の300ミリ秒から30ミリ秒に短縮し、検査効率を飛躍的に高めることを目標にしている。サブテーマとして、電磁石の磁気回路に使用する材料の最適化や、コイルの設計による電流立ち上がり時間の短縮、プローブカードの低背化などを実現することで、全体的な検査プロセスの効率化を図った​。
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超スマート社会実現の鍵を握る「機能性酸化物単結晶」の貴金属坩堝フリー量産技術開発

従来の酸化物単結晶製造に必要だった貴金属坩堝を使用しない育成技術の開発を目指した。高周波誘導加熱技術を用いて酸化物材料を直接溶融し、高品質な単結晶の育成を実現する装置を開発。また、装置の量産化を目指し、SiCモジュールや水冷銅パイプバスケットなどの部品開発も進めている。この技術により、通信、エネルギー、医療デバイスなど幅広い分野での応用が期待される。
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超音波とせん断波の同時可視化による運動器用弾性映像装置の研究開発

本プロジェクトは、運動器用の携帯型弾性映像装置を開発することを目的としている。特に、整形外科領域での診断に役立つ装置として、連続せん断波エラストグラフィ技術を活用し、筋肉や腱の硬さを定量的に測定できるシステムを目指している。映像の分解能は2mm、測定精度は5%以内を目標に設定し、これを実現するための技術的改良を行った。従来のプロトタイプ機では対応できなかった薄い筋や靭帯にも対応することを目指し、表示アプリケーションの開発も行い、カラー表示などによりユーザービリティを大幅に向上させた。
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超ワイドギャップ半導体・6G先進材料の超高周波応答検査のためのテラヘルツ分光システムの高度化開発

テラヘルツ時間領域分光法の基盤技術開発および高度化開発とその技術を基盤としたテラヘルツエリプソメトリを用いた半導体評価装置の開発に取り組んだ。具体的には、異方性材料評価用検査装置、高周波数応答検査装置、インライン型検査装置の3種類の開発を目指した。測定精度の向上、信頼性向上、評価効率の向上、2次元マッピング測定対応、ネットワーク接続対応などの課題に取り組み、目標とした装置開発に成功した。これにより、炭化シリコン、窒化ガリウム、酸化ガリウムなどの次世代パワー半導体材料の電気特性およびエピ膜の膜厚を非破壊・非接触で評価が可能になり、製造現場で評価可能なインライン装置の試作機が完成した。6G材料の求める周波数帯域での複素誘電率計測が可能となった。
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水素社会に向けた高リサイクル・高強度・耐水素脆性結晶微細化ステンレス棒材の小規模高効率生産技術の開発

本事業では、水素社会の実現に向け、高リサイクル・高強度・耐水素脆性を備えた結晶微細化ステンレス棒材の小規模高効率生産技術の開発を目的とした。 具体的には、φ3mm以上φ12mm以下の結晶微細化ステンレス鋼の製造が可能な装置の開発、φ3mm以上の材料を用いた部品加工実験、水素雰囲気に長時間置いた材料の再溶解時の影響検証等を行った。
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作業者の安全を守る発汗計測による熱中症アラートシステムの開発

独自の発汗センシング技術を応用し、作業現場での熱中症対策ソリューションの開発を目指している。研究開発の中心は、発汗センサの開発、給水アラートシステムの開発、システム化の3点である。発汗センサ開発では、MEMSマイクロヒータを用いた湿度計測を採用し、耐久性向上と省電力化を実現した。給水アラートシステム開発では、多数の発汗データを収集し、年代や汗のかきやすさ毎にクラス分けを行い、補正値を作成することで精度向上を図った。システム化では、Bluetoothゲートウェイを活用したクラウド連携システムを開発し、データ収集・分析を容易にした。
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