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光導波モードセンサ用多層膜コートプリズムの開発

光導波モードセンサは、感度とモバイル性の高さから次世代溶液センサとして注目されている。従来技術では、センサチップに高度な光導波路を形成するために複雑なプロセスが必要であり、製造コストを市場ニーズに合わせることが難しかった。本研究開発では、PVDプロセスを応用してプリズムに直接多層膜コートを行うことで、センサチップの製造プロセスを大幅に簡略化し、生産性向上とコストダウンを実現する
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基盤技術分野 :

表面処理

事業化状況 :
事業化に成功

高精度で信頼性の高いアブソリュートエンコーダの製品化に向けた技術開発

ロボットや回転テーブル等に用いるアブソリュート型の角度エンコーダでは、高精度化、低コスト化、高信頼性が望まれている。本特定研究開発では、新技術(特許:4917185、特願:2013-31589)を用いた、16〜22ビットの分解能を有する高精度で信頼性の高いアブソリュートエンコーダと、12ビットの分解能で11ビット程度の精度を持つ誤差補正機能付アブソリュートエンコーダの製品化に向けた技術開発を行う
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基盤技術分野 :

機械制御

事業化状況 :
事業化に成功

ナノインプリントにおけるレジスト残膜の均一化を実現する液状レジンパターン配置印刷技術開発

パワー半導体素子や次世代太陽電池などの次世代デバイス製造分野では、フォトリソグラフィー法での高価な液浸縮小投影露光装置に替わるナノインプリント工法の量産化実現が強く望まれている。本研究開発は、高粘度液状レジンを開発して、最小20μMでパターン配置することでインプリント後のレジスト残膜を均一化し、安価で450MMサイズSIウェハに対応できる、ナノ領域デバイス製造に幅広く革新をもたらす技術開発である
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基盤技術分野 :

接合・実装

事業化状況 :
事業化に成功

3次元LSI積層実装技術に対応した微細先鋭バンプ検査装置の開発

LSIデバイス接続技術においては、低加重・低温でチップ間接続が実現できる円錐・角錐形状の微細先鋭バンプが、次世代3次元実装技術として有望である。従来、先鋭バンプは、電子顕微鏡を形状観察に用いるが、光学的に高速検査できる技術はない。微細先鋭バンプ・接続技術の実用化には、バンプ形状検査技術の確立が不可欠であり、スタッドバンプ形状検査装置の技術に基づいて微細先鋭バンプ形状検査装置を開発する
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基盤技術分野 :

接合・実装

事業化状況 :
事業化に成功

車載用SiC及びGaN基板の実用化を目指すCARE法加工技術の開発

車載用パワー半導体材料としてSIが主流であるが、より高性能なSICやGANが注目されている。しかし、これらは高硬度で、従来の研磨法では加工時間が長く傷も発生し、コストが高い為、実用化が遅れている。大阪大学において無傷で原子レベルの平坦面が得られるCARE法が開発されたが、実用化するには、安全性と経済性に課題がある。本研究開発により、これらの課題を解決して、新材料による車載用基板を実現したい
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基盤技術分野 :

精密加工

事業化状況 :
事業化に成功

波長選択型高性能色素増感太陽電池の開発

可視光~近赤外光の所望の波長を選択的に吸収する高機能有機色素を開発する。さらに、太陽光エネルギーを有効に使って発電する波長選択型色素増感太陽電池を開発する。また、耐久性に優れた実用化に制約が少ない太陽電池の高機能化学技術を創出して、透明性や意匠性に富み、かつ環境・エネルギー問題に貢献することができる色素増感太陽電池の基盤技術を完成させる。建材、農業、照明分野等への波及効果が期待できる。
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基盤技術分野 :

複合・新機能材料

事業化状況 :
事業化に成功

小型・低消費電力・高精度で安価な農機用航法センサの研究開発

農業人口の減少やTPP対応等のために、農業の効率化・省人化・ロボット化技術の開発が急がれており、トラクタなど農機の運転アシストや自動走行に必要な、高精度で安価な航法センサ(位置・姿勢・方位・センサ)の商品化が要望されているので、RTK-GPSとIMUの統合航法技術により、既存の航法センサと機能・性能は同等でありながら、コストを既存製品の1/10以下にした、高精度な農業用航法センサの研究開発を行う
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基盤技術分野 :

情報処理

事業化状況 :
事業化に成功

樹脂コーティングワイヤーを用いたSiCウエハの鏡面スライシング加工技術の開発

SICは、パワー半導体や高輝度LEDの基板材料としてニーズが高まっているが、ウエハコストが高く、普及していない。現在、SICのスライシング加工は、ブラスメッキワイヤーやダイヤモンドワイヤーが使われており、加工時間や材料ロスが、コスト高の原因となっている。そこで、樹脂コーティングワイヤーを用いた鏡面スライシング加工技術を確立し、ウエハの薄厚化、後工程の時間短縮など、大幅なコストダウンを目指す
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基盤技術分野 :

精密加工

事業化状況 :
事業化に成功

心拍揺らぎと呼吸から日常生活の中でストレス状態を手軽に知ることが出来る携帯型評価装置とクラウドサービスを実現するための組込みソフトウェアの高度化に関する研究

最近の調査で、国民の約半数が日常生活に何らかの悩みやストレスを抱えていると発表されている。ストレスは、様々な疾病の遠因として社会問題化している。このことから、日々のストレスを簡易に計測・評価することでセルフコントロールできる機器・サービスが求められている。そこで心拍周期の幾何学的解析手法によって、従来のストレス解析装置の1/10以下のコスト、1/5以下の時間で解析できる技術を確立する
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基盤技術分野 :

情報処理

事業化状況 :
事業化に成功

超音波を用いた自動車用マフラー等気密容器漏れ検査装置の開発

自動車業界では、マフラー・燃料タンクなどの気密性を要する部品については、欠陥に基づく漏れの確認検査が必須である。例えばマフラーは全品目視による検査を実施し、漏れの有無を確認しているが検査にバラツキが生じるなどの課題がある。そこで、漏れた0.2MM以上の気泡の周期性と上昇運動を検出原理とした超音波を用いた自動検査装置を開発し、自動車部品だけでなくガスボンベ等気密性が求められる製品全般への応用を目指す
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基盤技術分野 :

接合・実装

事業化状況 :
事業化に成功

※データ更新中のため、一部プロジェクトは掲載されていない場合があります。