研究開発された技術紹介

光導波モードセンサは、感度とモバイル性の高さから次世代溶液センサとして注目されている。従来技術では、センサチップに高度な光導波路を形成するために複雑なプロセスが必要であり、製造コストを市場ニーズに合わせることが難しかった。本研究開発では、PVDプロセスを応用してプリズムに直接多層膜コートを行うことで、センサチップの製造プロセスを大幅に簡略化し、生産性向上とコストダウンを実現する

PVDプロセスを応用してプリズムに直接多層膜コートを行うことで、センサーチップの製造プロセスを大幅に簡略化し、生産性向上とコストダウンを実現し、従来技術と同レベルの性能を3分の1のコストで達成する
(新技術)
低融点ガラスのモールド成形とPVDプロセスの組合せ(普及技術の組合せ＋αで新規技術を開発)
(新技術の特徴)
プロセスを大幅に簡略化。生産性向上とコストダウン(1/3以下)、遜色ない性能(検出感度≧80%)

・検出感度、製造コストの両面で目標を上回る成果を得た
・性能:屈折率変化に対する検出感度＝従来品の100%
・コスト:センサーチップの製造原価＝￥223/個(13分の1)
・反射層のSi、SiGeの微結晶化技術を完成するとともに、3層目に電場増強の役割を担わせる3層コート構造を体系化した
・光学薄膜の膜厚、光学特性等のデータ収集、評価技術を得た
・微結晶化プロセスに対応した構成の専用PVD装置を開発した。量産プロセスで試作を行い、歩留り、原料価格、ユーティリティ・メンテナンスコストからバッチあたりの製造コストを確定し、センサーチップの性能および品質面で安定した量産プロセスを確立した

茨城新聞に掲載（2016.11.2）、特願2016-070376

・イムノアッセイ(インフルエンザ等の臨床検査)、エライザ(狂牛病検査など)にかわる、次世代型バイオセンサー
・モバイル性を活かし、医療現場や空港検疫などでの即時検査

複数件の共同研究を実施、および有償サンプルの出荷実績あり。

・導波モードセンサーを用いた、オリジナル製品の共同開発と技術サポート
・適切なレベルの性能を維持しながらコストを抑制することで、市場ニーズに合った販売単価を実現

・サポイン終了時点で、主要な製造技術の開発は完了し、今後は、幅広く提携先を募集しつつ、用途開発を進め、バイオセンシングに不慣れなユーザーでも簡単かつ正確な測定が行えるように、プロトコルや試薬キットの開発に注力する
・現時点で、複数メーカーから共同開発の打診を頂いており、一部は共同で実証研究を進めている