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接合・実装

微細尖端バンプの形状検査技術の開発により、高速バンプ検査が可能に、形成装置の市場普及を促進!

静岡県

ソフトワークス株式会社

2022年1月28日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 3次元LSI積層実装技術に対応した微細先鋭バンプ検査装置の開発
基盤技術分野 接合・実装
対象となる産業分野 半導体、エレクトロニクス
産業分野でのニーズ対応 高機能化(新たな機能の付与・追加)、高効率化(人件費削減)
キーワード 微細尖端バンプ、3次元測定、高速検査
事業化状況 事業化に成功
事業実施年度 平成25年度~平成26年度

プロジェクトの詳細

事業概要

LSIデバイス接続技術においては、低加重・低温でチップ間接続が実現できる円錐・角錐形状の微細先鋭バンプが、次世代3次元実装技術として有望である。従来、先鋭バンプは、電子顕微鏡を形状観察に用いるが、光学的に高速検査できる技術はない。微細先鋭バンプ・接続技術の実用化には、バンプ形状検査技術の確立が不可欠であり、スタッドバンプ形状検査装置の技術に基づいて微細先鋭バンプ形状検査装置を開発する

開発した技術のポイント

次世代高密度実装に用いられる円錐・角錐等の微細先端バンプの形状検査技術を確立する
(新技術)
円錐・角錐等の微細先端バンプの形状検査技術の確立を行う

(新技術の特徴)
従来不可能であった正確で高速な検査が可能となる

具体的な成果

・レビュー用簡易検査装置の開発
‐低価格でコンパクトな簡易検査装置の開発を行った
‐パンプの研究開発用途でのニーズが見込まれる
・高速検査装置の開発
‐高速にバンプ検査を行う装置の開発のため、高速検査装置搬送部、青色レーザー照明、深被写界深度顕微鏡、高速画像処理の開発を行った

研究開発成果の利用シーン

・バンプ形状レビュー用簡易装置の提供
・形状を問わず微細バンプの測定が可能な高速検査装置の提供

実用化・事業化の状況

事業化状況の詳細

・形状を問わず微細バンプの測定に有効な高速検査装置は、目標を達成し実用化でき、今後は事業化に向けて更なる開発をする予定である
・派生技術を用いて銅箔検査装置の事業化に向けての開発をする予定である

提携可能な製品・サービス内容

設計・製作、製品製造、共同研究・共同開発、技術ライセンス、技術コンサルティング

製品・サービスのPRポイント

従来不可能であった正確で高速な微細バンプ測定が可能に、形成装置の市場普及を促進
・3次元LSI積層実装技術において最有力である微細先鋭バンプの高速検査を実現した
・先鋭形状のみでなく、円柱や球形状の微細バンプも高速検査可能であり、従来技術よりはるかに高速である
・本装置は、パンプ全数検査が必要な3次元LSI積層技術において不可欠である
・この装置の開発により、微細バンプの形状検査が可能となり、形成装置の市場普及を促進することが期待される

今後の実用化・事業化の見通し

・本装置では、5μmがかろうじて測定出来る限界であるため、さらに微細なバンプ測定技術の向上を目指す予定である
・測定速度がさらに高速となるよう改良を進める予定である

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 ソフトワークス株式会社
事業管理機関 株式会社浜名湖国際頭脳センター
研究等実施機関 国立研究開発法人産業技術総合研究所

サポイン事業者 企業情報

企業名 ソフトワークス株式会社
事業内容 外観検査装置、及びソフトウェアの製造・販売
社員数 10 名
本社所在地 〒433-8119 静岡県浜松市中区高丘北一丁目40-15
ホームページ https://www.softworks.co.jp/
連絡先窓口 塩見俊夫
メールアドレス info@softworks.co.jp
電話番号 053-439-8960