研究開発された技術紹介

LSIデバイス接続技術においては、低加重・低温でチップ間接続が実現できる円錐・角錐形状の微細先鋭バンプが、次世代3次元実装技術として有望である。従来、先鋭バンプは、電子顕微鏡を形状観察に用いるが、光学的に高速検査できる技術はない。微細先鋭バンプ・接続技術の実用化には、バンプ形状検査技術の確立が不可欠であり、スタッドバンプ形状検査装置の技術に基づいて微細先鋭バンプ形状検査装置を開発する

次世代高密度実装に用いられる円錐・角錐等の微細先端バンプの形状検査技術を確立する
(新技術)
円錐・角錐等の微細先端バンプの形状検査技術の確立を行う

(新技術の特徴)
従来不可能であった正確で高速な検査が可能となる

・レビュー用簡易検査装置の開発
‐低価格でコンパクトな簡易検査装置の開発を行った
‐パンプの研究開発用途でのニーズが見込まれる
・高速検査装置の開発
‐高速にバンプ検査を行う装置の開発のため、高速検査装置搬送部、青色レーザー照明、深被写界深度顕微鏡、高速画像処理の開発を行った

・バンプ形状レビュー用簡易装置の提供
・形状を問わず微細バンプの測定が可能な高速検査装置の提供

・形状を問わず微細バンプの測定に有効な高速検査装置は、目標を達成し実用化でき、今後は事業化に向けて更なる開発をする予定である
・派生技術を用いて銅箔検査装置の事業化に向けての開発をする予定である

従来不可能であった正確で高速な微細バンプ測定が可能に、形成装置の市場普及を促進
・3次元LSI積層実装技術において最有力である微細先鋭バンプの高速検査を実現した
・先鋭形状のみでなく、円柱や球形状の微細バンプも高速検査可能であり、従来技術よりはるかに高速である
・本装置は、パンプ全数検査が必要な3次元LSI積層技術において不可欠である
・この装置の開発により、微細バンプの形状検査が可能となり、形成装置の市場普及を促進することが期待される

・本装置では、5μmがかろうじて測定出来る限界であるため、さらに微細なバンプ測定技術の向上を目指す予定である
・測定速度がさらに高速となるよう改良を進める予定である