研究開発技術検索

半導体製造装置用クランプ式超音波流量計の開発

3次元実装は研磨、洗浄、レジスト塗布工程が何度も繰り返されるため、これら薬液の精密流量制御が重要な課題である。一方、半導体製造装置には多くの流量計が用いられているが、研磨工程における研磨剤供給、洗浄工程における洗浄液生成、フォトリソ工程におけるフォトリソ液塗布などでの精密流量制御に用いられる流量計が存在しない。そこで、新型流量計を開発し、実装技術の小型・高密度集積化、低コスト化を図る。
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使用済みナトリウム－硫黄二次電池からのナトリウムの電解精製プロセス技術開発

変動の大きな自然エネルギーの電力貯蔵用として利用が拡大しているナトリウム－硫黄二次電池の使用済み電池から回収される金属ナトリウムは不純物を含み再利用できていない現状にある。この金属ナトリウムを電解精製することで不純物を取り除き、再利用可能な高純度金属ナトリウムとして工業的に回収できる電解設備の構築と電解プロセスを開発する
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光通信用光デバイス一括実装のためのプラスチック成形基板の開発

光通信用光デバイスの実装は、構成される光部品を順番に調整しながら筐体となる基板に一つ一つ接着する。この組立は、労働集約形のため生産工場が新興国に移りつつあり、国内産業の衰退が始まっている。提案する基板は、我々がこれまで蓄積したノウハウと経験を基に、光軸調整できて、光路に樹脂が回り込まない工夫をした金型に光部品を一括で実装した後、一気に樹脂を流し込み、光部品を超短時間で固定する新しい技術である
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エッチングに替わる薄板難加工材の微細・高精度プレス加工技術の開発

特殊金属からなる固体酸化物形燃料電池(以下、SOFC)のインターコネクタや、各種センサの検知部の微細なスリット加工は、従来エッチングにより行われてきたが、生産性やコストの問題からプレスへの転換が期待されている。しかし、プレスのみでは、バリや破断面が残るため、後工程で余分なコストのかかる化学処理が必要である。本提案では、プレス後の化学処理を不要とする微細・高精度プレス加工技術を確立する
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放熱特性を向上させる周期的凹凸構造を持つ立体塗装技術の開発

・自動車業界のプラスチック部品、特にヘッドランプのリフレクターやハウジングの放熱改善が求められている ・放熱特性を向上するには、放射やプラスチックの熱伝導特性をアップするよりも周期的な凹凸構造をプラスチック表面に付与することが有効である ・骨材・塗料の吐出量を独立に制御して、プラスチック表面に熱伝達特性を改善する周期的な凹凸構造を形成可能な立体塗装技術を開発し、ヘッドランプの放熱特性を改善する
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光学・成形シミュレーション技術を利用した超精密光学素子成形プロセスの高精度・高能率化

プラスチックやガラスで成形により作られる超精密非球面光学素子は、海外企業との競争のため試作期間を大幅に低減することが求められている。本提案では、機上計測システムや数値制御研磨システムを成形/光学シミュレーションと組み合わせることにより、より高精度な光学素子を短期間で完成させることを実現するものであり、デジタル情報機器の基幹部品である非球面光学素子の製造技術にブレークスルーを与えるものである。
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角形チップ用フォトレジスト塗布装置・現像装置の開発

角形チップ用のレジスト塗布装置と現像装置およびマイクロめっき技術の開発を行う。これにより角形チップ単位でのリソグラフィ加工を実現し、デバイスの3次元実装技術の研究開発コストの低減とデバイス生産工期の短縮を可能にする。市場導入に向けて角形チップ・サイズは、10mm×10mmの基板に対応できる装置を開発する
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銅製EV急速充電用コネクタ端子における冷間鍛造による加工技術の開発

本提案では、冷間鍛造技術を高度化させ、複雑形状を有する「銅製EV急速充電用コネクタ端子」のニアネットシェイプ成形による高精度加工技術を開発する。このことで、95％以上の材料歩留率と10秒/個以内のサイクルタイム、及び、従来法に比較し60％以上の製造コスト削減を実現する。さらに、各工程の自動化、迅速化、連続化を図り、充電コネクタの量産技術を構築し、我が国のEVの普及とEV事業の国際競争力強化に資する。
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高性能皮膜を高歩留まりで施工できるプラズマ溶射トーチの開発

一つの電極から発生したプラズマアークを複数に分岐し、溶射材料をノズル先端の中心からプラズマフレーム軸方向に噴出し、複数のプラズマアークで包み込む技術を世界で初めて開発した。この結果、真空炉を使用しなくても酸化を抑制した金属被膜形成が可能となり、また、ノズル先端部で２種の溶射材料を均一に混合して混合被膜を形成することが可能となった。また、トーチカバー内に反応性ガスを噴入して溶射材料の一部を反応させ、金属とセラミックの両方の特性を持つ被膜の形成を可能とした。例として、純チタン粉末を溶射材料として、純チタンと窒化チタンの両方の性質をもち、靭性のある耐食性と耐摩耗性に優れた被膜の形成が可能となった。一方、付着効率が著しく向上した事により、溶射の電力コスト、材料コスト、時間コストが３割低減できた。現在、金属溶射、及びサーメット溶射の適用先を開拓中である。潜在能力としては、セラミックの超微粉や懸濁液の溶射が可能であるので、将来、半導体や航空宇宙の分野において、従来被膜の代替品となる事が期待される。また、溶射以外でも粉末材料を均一に加熱できるため高歩留まりで球状化や材料改質に活用できる。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
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CVD多結晶ダイヤモンド皮膜を用いたメカニカルシールの開発

軸封装置のメカニカルシールは、石油業界や化学プラント、半導体業界向けにポンプ及び攪拌等の産業機械に適用されている。産業機械の小型・高速化・大容量化のニーズに伴い、メカニカルシールの使用条件が高速、高荷重へとますます過酷なものとなっている。本提案では、耐摩耗性などの優れた特性を有しているCVD多結晶ダイヤモンドをシール部材に適用することで、従来材料で実現が困難なニーズに対応することが可能となる
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