研究開発技術検索

ミニマルレーザ水素アニール装置と原子レベルアンチエイリアス(AAA)技術の研究開発

MEMSデバイスでは、ドライエッチング時に発生する表面荒れに起因した性能劣化が大きな課題であり、有効な表面平滑化技術が無い。そこで、革新的な表面平滑化処理を実現する水素アニールとレーザ加熱技術を融合したミニマルレーザ水素アニール装置を開発し、更にスキャロップの極めて小さいミニマル高速Boschプロセス技術と融合させることで、原子レベル超平滑化技術を開発し、高品質MEMSデバイス製造基盤を確立する。
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エネルギー効率改善に寄与する電解水を用いたスケール析出抑制除去装置の開発

製造工程における冷却水系の高清浄化を実現し、製造工程における生産効率の改善および製品の品質安定性を確保するために、冷却水系の一時的なスケール除去ではなく、スケール析出抑制を維持する技術を開発し、冷却水系の高清浄化を実現する。これにより、川下製造業者が最終的に求めている製造工程における生産効率の改善および製品の品質安定性確保を実現する。
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離型剤の効率的塗布可能なポーラス形状部を金属3Dプリンタで実現する高生産性・長寿命ダイカスト金型の開発

金属3Dプリンタで、従来不可能であったポーラス形状やラティス構造を金型に組み込み、現在スプレーで塗布されている離型剤を金型内部から染み出させ、製品不良を起こす「焼き付き」を防止するとともに、離型剤の消費量を削減し、鋳造サイクル時間を短縮化することにより、川下企業である自動車部品メーカーのコストダウンを可能にする。また、冷却配管を金型形状に沿って配置し、金型の長寿命を実現する。
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自動運転社会に向けた半導体界面仕上技術の研究開発

次世代半導体基板は欠陥のない単結晶を製造出来ないため、半導体製造工程においてバルク基板の表面に同種もしくは異種のエピ膜を作り試作されているが、従来技術では目標とする性能が得られていない。これまでバルク基板の平坦化技術として開発してきたCARE法をエピ膜の仕上げに適用することにより、膜厚をナノレベルに均一化し、かつ欠陥を除去できる技術を確立し、次世代半導体の性能向上と普及を目指す。さらにこの技術を応用してトレンチ壁面の仕上げについても基礎技術を開発する。
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リチウムイオン電池の高容量化・長寿命化に寄与する超薄片化黒鉛を用いた画期的な導電ペーストの研究開発

電池の容量と寿命に対する課題を解決するため、超薄片化黒鉛を使ったプライマーコート箔や、同じく超薄片化黒鉛を用いた導電ペーストを開発することで、界面抵抗・体積抵抗を低減し、電池の容量アップを図る。またペーストに特殊セラミックスを添加することで、活物質中のNi比率を増やした場合のアルカリ成分発生を抑制し、寿命の向上をアップさせる。
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大型プラントメンテナンスに用いる振動センサネットワークノードモジュールの研究開発

セメント製造業、鉄鋼製造業などでは長大な原材料運搬用ベルトコンベイヤーが設置され運用されている。本研究開発ではこのようなプラントの予防保全システムの構築のためにプラントの振動をモニタするエナジーハーベスタ、振動センサ、電源IC、CPU、無線送受信装置から構成されるセンサネットワークノードを研究開発する。同時に異常状態のデータベース無しで予防保全が可能な新たなビッグデータ処理法を研究開発する。
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軸姿勢検出機能を有する中空大型の3D高機能ロータリエンコーダの開発

大口径な光学式円筒型格子スケール及び磁気式歯車型スケールを製作し、回転軸の周方位と軸方位の変位を検出する光学式及び磁気式センサを開発することにより、回転軸の「回転角度」、「軸振れXY方向」、「軸振れZ方向」、「軸倒れ」の値を測定演算し、各変位情報をエンコーダ信号として出力する3Dロータリーエンコーダを開発する。実現した光学式・磁気式エンコーダは、大型の回転テーブルや工作機械に搭載することにより、回転軸の動作精度の誤差を低減し、大型一体モノ加工の精度の向上に寄与するものである。
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航空・宇宙向けチタン合金積層造形部品の試作レス化技術の開発

電子ビーム方式と比べ低コストかつ品質安定性の高いレーザービーム方式のパウダーベッド金属積層造形を用いた航空・宇宙向けチタン材部品造形の試作レス化技術を開発する。チタン材の積層造形では熱変形による寸法精度低下や割れが発生するが、メルトプールの観察と伝熱・熱変形シミュレーションを併用し造形の変形量を考慮した最適化形状で造形することで、従来に比べて70%の開発期間短縮と30%コストダウンを実現する。
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湿式処理により蓮の葉構造をナノレベルで再現する安価な撥水処理技術の研究開発

本研究開発の目的は、今後も世界市場で拡大が予想される空調機の消エネ化に貢献可能な、湿式処理で蓮の葉と同様の撥水性を付与するナノレベル凹凸を金属表面に形成できる独自開発の超撥水処理の量産技術確立にある。上記目的を達成するために、当該処理実施時の処理表面の経時変化を、高度解析装置であるFE－SEM、ESCA、ラマン分光装置、分光光度計等を用い凹凸形成メカニズムを究明し、接触角150度以上の達成を図る。
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電解硫酸技術を活用した屋外で白化しにくいアルミ合金製品と表面処理装置の開発

広く使用されているアルミ合金の表面には腐食を抑制するための酸化皮膜の形成および封孔処理が行われているが、1年程度の屋外使用で表面に白い斑点(白化)が発生する課題があり、その解決に取り組んだ。白化は表面の浸食に伴う光の乱反射によるものであることがわかり、更に白化加速試験を通して、酸化皮膜の空隙率が白化速度に影響することを見出した。その空隙率を小さくする技術の開発に成功し、白化が発生するまでの期間(白化寿命)を大幅に延長できた。
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