研究開発技術検索

大口径（３００ｍｍ）ウェハに対応した高耐熱性めっき技術の開発

本研究開発では、低リンNi/Pd/厚付けAuめっきを用いた耐熱性の高いめっきを安定的に施すための技術確立を300mmウェハにて達成し事業化を目指した。具体的には、高温加熱によるクラック対策として、皮膜中のリン濃度が1～4%のNiめっき(低リンNiめっき)を用いることで熱処理後のリン化合物の生成および皮膜の体積収縮を抑え、クラックを防止する方法を開発した。また、ワイヤー接合信頼性の確保のため、NiとAuの間にPdをバリア層として挿入し、AuめっきやPdの厚膜化により、NiとPdのAu表面への拡散を防止する技術を確立した。さらに、300mmウェハにおける外観ムラ改善として、前処理プロセスの最適化により、Alスパイクの抑制、Znの均一な析出を実現した。
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複合材料不織布リサイクル量産工法技術開発による異種混合繊維生産と防音素材開発

本研究の目的は、繊維端材を活用したペレタイズ量産工法、異種混合繊維の量産工法、さらにリサイクル繊維由来の防音材の開発を確立することである。目標としては、繊維性能として繊度6.6dtex以下・強度1.0cN/dtex以上を満たし、加えて500Hz～5,000Hzの周波数帯域において設定した吸音率を達成することである。
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軽量化・コスト・耐腐食性に優れた次世代型ロープ向け炭素繊維と熱可塑性樹脂の複合素材の量産化技術開発

低コストかつ物性制御（特に曲げ剛性）が可能な新たな複合素材として、流体攪乱加工技術を活用した「炭素繊維（CF）と熱可塑性樹脂との混繊糸（CF混繊糸）の開発」に取り組んだ。具体的には、流体攪乱加工時の「CFと熱可塑性樹脂繊維との配向性制御」や「加工の高速化」に取り組んだ。 また補助事業の初期用途となる金属製ワイヤロープの代替品を作るためには「CF-PA混繊糸」「中間材料化（テキスタイル化）」「成形」の３つの工程が必要である。このため併せてCF-PA混繊糸を用いた「中間材料の成形加工技術の確立」や「中間材料の製造工程と成形工程の同期/連続加工の実証」にも取り組んだ。
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金型等の加工における非接触機上測定技術を応用した自動補正加工システムの開発

以下の3点の開発と最終的な統合により初期加工後の精度測定から補正加工までの一貫処理を自動化可能とした。 　・光切断測定が可能な加工後の表面処理(ホワイト面の創成)、測定データのノイズ処理法の開発。 　・加工機内に挿入可能な光切断測定装置による繰り返し測定精度20uｍの達成。 　・加工機内での測定データを用いた追加補正加工経路の生成プログラムの開発。 上記3点を統合し連続処理化することで一貫処理の自動化を達成。 今後、商品化に向けて測定系の小型化を継続開発する。
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パワー半導体の高密度実装に対応した高放熱セラミックス基板の開発

本事業は、窒化アルミニウム繊維添加・窒化アルミニウム基板の量産化と、放熱・信頼性の実用水準達成を目的としたものである。サブテーマは、1.高熱伝導率化、2.シート成形によるコストダウン、3.金属-セラミックス接着体の熱抵抗評価法の確立、4.デバイスでの放熱設計と品質・信頼性確認である
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機械の潜在能力を持続的に向上させる共進化（Ｃｏ－ｅｖｏｌｕｔｉｏｎ）ガイドラインの研究開発

人と機械が相互に学習・適応する共進化システムを安全に設計・運用するため、1.相互合意形成のガイドブック(HMCES)を整備、2.仮想空間で検証可能な共進化プラットフォームを構築、3.協働ロボット・構内搬送・対話型AI・統括コントロールの例示アプリを開発し、効果を評価した。
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異種金属接触腐食耐性及び高密着強度を併せ持つガラス質セラミックスの極薄被膜形成技術の開発

研究は、1.組成設計(線膨張・軟化点を満たす低誘電ガラス)、2.粉砕・分級(平均 20～30 マイクロン、超微粉の許容 8%以下)、3.極薄被膜形成(平均 10～30 マイクロン目標、基材加熱 900 度)、4.事業化(評価・展示・販路)の4本柱で推進。学習院大学が材料設計、当社が粉体・溶射、管理機関が進行管理を担った。
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ガンドリル・超音波クーラント援用システムによる低侵襲医療小径キーパーツの高精度微細加工技術の開発

本研究では、超音波クーラント援用ミーリングの加工条件を最適化するとともに、それを支える専用治具の設計を進めた。加えて、直径φ0.3、4枚刃のcBNマイクロ回転工具を試作し、切削性能の最適化を検証した。さらに、複合自動旋盤には標準配管と30MPa高圧配管の二重システムを実装し、ガンドリルによる深穴加工の適用範囲を拡大した。量産化に向けては、工具破損の早期検知や摩耗識別の仕組みを組み込み、CAD/CAM最適化、X線CT評価までを一気通貫で構築することにより、実用化へ直結する技術基盤を確立した。
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産業設備の高温部からふく射する熱ロスを削減し、省エネに貢献する遮熱膜の連続成膜法開発

本研究開発では、ロールツーロール成膜法を用いた高温環境対応遮熱膜の開発を行った。ステンレス箔上にSiO2/NiSix/SiNx多層構造を形成し、赤外域で輻射率5%以下の低輻射特性と600℃で10年以上の耐熱寿命を両立する技術を確立した。幅600mm×長さ100mの大面積遮熱膜の製造技術を開発し、産業用高温配管や電気炉などでの省エネルギー効果を実証した。従来困難とされていた極薄ステンレス箔への安定成膜と大面積均一性を実現し、実用レベルの遮熱性能を達成した。
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軽量及び吸水速乾性に優れた糸への無水染色化技術とその実用化プロセス技術の開発

本事業では、水を使用しないscCO2流体染色技術を実用化し、軽量性・吸水速乾性を保持した糸を実現することを目的とした。対象はポリプロピレン糸および極細の再生ポリエステル糸であり、染色堅ろう性の確保、油汚れ耐性の向上を課題とし、均染性確保のため糸の熱履歴やチーズ巻密度の最適化、糸洗浄技術や調色技術の確立を進めた。
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