研究開発技術検索

半導体製造プロセス向け次世代流量制御ユニットの開発

次世代半導体デバイスの製造にはウエハ上に形成される回路の微細化と3次元化が必須であり、原子層レベルでのエッチングや成膜が注目されている。しかし、それらの原子層加工プロセスは処理速度(スループット)が遅いという欠点があった。今回の計画は、フジキン独自の「水道方式」技術をもとに、プロセスチャンバにガスを高速高精度にパルス供給可能な流量制御ユニットを開発することにより、その課題の解決を図るものである
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複数個の共振ミラーを使用した長距離・全天空型3Dセンサの開発

H24～26年に開発した市街地を歩行速度で自律移動するロボットのための3次元レーザセンサを高度化し、屋外の悪環境下で長距離まで広視野に物体や地形を高精度で弁別できる小型の3次元距離計測センサを実現する。これによりインフラ点検や自動運転など種々の社会システムで使用されるロボットの機能向上と安全性の確保を目指す
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樹脂;金属接合技術を用いた大気中全マトリクス捕集装置の開発

全国対応が急務であるPM2.5や新規有害物質による越境大気汚染対策を効果的に行うためには、地方自治体・分析事業者の負担増の原因である、百種以上に細分化された大気捕集・分析技術の刷新が必要である。そのため、全ての大気マトリクスを一度に捕集し、ガス成分・粒子状物質の複合暴露リスク評価・分級粒子の化学分析・ウイルス解析なども可能な、次世代大気捕集技術を樹脂/金属接合技術を用いて開発・実用化する
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高精度にリアルタイムで加工現象(熱・振動・抵抗)をマルチ計測できる技術・回転式工具の開発

東日本大震災以降の原子力発電の見直し等、エネルギー政策の転換からエネルギーの効率化が求められる。各重工メーカーは、エネルギー効率に影響を及ぼす回転機器部品を高精度・高効率化する為、部材の難削材使用、翼形状の複雑化に取組むが加工上多くの課題がある。そこで加工現象をリアルタイムで見える化する回転式工具を開発し、最適加工条件を導出することで、高精度・高効率な翼加工を実現し、エネルギーの効率化に貢献する
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高アスペクト比ステンレス薄肉缶、トランスファ高速・高効率温間絞り工法の開発

世界的市場拡大が確実な車載システムの電池缶に、高強度、高アスペクト比、薄肉仕様が求められている。缶材質としてオーステナイト系ステンレスが有力だが、従来のプレス加工技術では破断もしくは低生産性・低効率で、実現が困難。本研究では、これを革新的な材料加熱とその温度分布コントロール技術の開発により解決し、当該電池缶の高速トランスファプレスでの生産を実現する
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閉鎖環境セルを基本としたユニット型完全自動高効率植物工場の開発

　完全閉鎖型人工光植物工場は、天候に左右されず最適な栽培環境で短期間で定常的に作物生産ができる。問題はコストで全自動植物工場の場合、人工光と空調のエネルギーコストである。大規模植物工場では空調容積の大きさが課題であった。本事業では栽培に必要な最小限の空間だけに作物に必要な栽培環境を再現するセルによって人工光照射と空調のエネルギーコストを50%以下にすることができる全自動植物栽培ユニットを開発する。
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レーザー粉体肉盛溶接と3次元摩耗測定による耐久性に優れた破砕機刃物の補修方法の開発

環境エネルギー分野の廃棄物処理産業では使用する破砕機刃物が、耐久性があり、安価に繰返し肉盛溶接補修再生できる高効率化を求めている。そこで弊社は、レーザー粉体肉盛溶接による高硬度で精密な肉盛層の造形技術と摩耗計測センサーとロボット制御技術の開発による摩耗部の自動肉盛補修再生を立体造形技術として完成させたい。この技術は各種の耐摩耗部品の再生技術として事業展開でき、また、環境保全にも貢献できる
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セルロースナノファイバーとゴム材料との複合化技術を活用した環境配慮型超軽量・高機能シューズの開発

神戸の靴業界では、近隣アジア諸国への生産シフトが進み、ものづくりの空洞化が課題となっている。本研究では、次世代のバイオマス素材として注目されているセルロースナノファイバーによるゴムの補強技術と加硫発泡技術とを融合させた業界初の技術によって高機能・超軽量の環境配慮型ゴム系靴底の開発を行い、“メイド・イン・ジャパン”の復活と東京オリンピックを契機とした日本発の高機能シューズの世界への発信を目指す
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希少糖D-アロースの大量生産技術の確立とその応用技術の開発

健康志向の世情と相まって、対処療法ではなく根源からの改善ができ、治癒すれば継続摂取の必要がなくなり、非降圧薬服薬者のみならず降圧薬服薬者にも利用可能な高血圧改善を目的とした食品素材が求められている。このニーズに応えるため、本事業では高血圧改善効果を有するカロリーゼロの希少糖D－アロースを高効率酵素反応技術により、低コストで大量生産可能な技術を確立し、食品素材として活用可能な応用技術を開発する
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36Gシンカーベロア編成技術による極細高密度パイルトナーシール材の開発

レーザープリンター用トナーシール材において、摩擦熱上昇低減、薄肉化、封止性向上などが重要な課題となっている。その課題解決のため、弊社が培った丸編シンカーパイル技術を応用し、36G高密度パイル生地による極細、高密度なトナーシール材用パイル生地の研究開発を行い、様々なレーザープリンターに対応する新たなパイルトナーシール材の確立を目指す。
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