研究開発技術検索

第5/第6世代無線通信用アンテナ一体型パッケージ(AiP)評価装置の開発と事業化

本プロジェクトは、5Gや6Gに使用されるAiP(アンテナ一体型パッケージ)の正確な測定を可能にする技術開発を目指している。まず、セラミックやLTCC基板の凹凸構造に対応可能な340GHz帯のMEMSプローブと、その校正方法の開発を行った。次に、誘電体プローブのアンテナ接続部の構造および導波路部分の設計・開発を実施。さらに、両面からのプローブ測定に対応する新型プローバーと、プローブ走査技術の開発を行った。これにより、AiPの正確な測定が可能となり、今後の高速通信技術の発展に大きく貢献することが期待される。
＞＞ 続きを見る

SiCおよびGaNウェーハおよび薄膜中の極微量金属不純物定量分析装置の開発

SiCおよびGaNの半導体パワーデバイスは、高速通信分野で大きな市場として今後期待されている。しかしながら、これらデバイスの製造工程における金属不純物汚染管理に有効な金属分析方法が確立されていない。よって、レーザーアブレーション法(LA)と誘導結合プラズマ質量分析法(ICP-MS)を組み合わせたLA-ICP-MS法によりSiCおよびGaN中の微量金属不純物を定量分析する全自動分析装置を開発する。
＞＞ 続きを見る

世界初の磁束集中型誘導加熱機構と高度制御可能な高周波インバータを用いた高熱容量端子対応局所IHはんだ付け装置の開発

非接触型の局所誘導加熱(IH)技術を活用し、高熱容量端子に対応できるはんだ付け装置の開発を行った。対象物に対して集中加熱を行うことで、狭いスペースでも効率的なはんだ付けが可能となる。この装置は、センサ端子や大電流用端子のような幅広い用途に対応し、従来のコテはんだ付けと比較して、より高速かつ正確な接合を実現した。また、高周波インバータを用いた高効率の加熱技術により、生産性向上を図ることができた。
＞＞ 続きを見る

半導体微細径ワイヤボンドの非破壊瞬時検査方法と自動検査装置の開発

金または銅の微細径ワイヤボンドを対象とした非破壊検査技術と、その自動検査装置の開発を進めている。この技術は、レーザーによる周期的な加熱を使用し、非接触でワイヤボンドの接合界面状態の品質を評価するものである。シミュレーションと実際の温度測定を通じて、接合界面の状態を正確に把握することができ、特に半導体業界における品質管理を飛躍的に向上させることを目指している。
＞＞ 続きを見る

車載用センサーの高性能化・信頼性向上に貢献するCVD-SiCの超微細・極厚高速成膜技術を用いた高精度光学ガラス素子成形金型並びに成形技術の開発

車載用センサーの高性能化と信頼性向上に向けたCVD-SiCを用いた光学ガラス素子の成形金型とその成形技術の開発を目的としている。特に、CVD-SiCの高速成膜技術を確立し、その物性を活かした非球面レンズ金型の加工技術、レンズ成形技術の研究に焦点を当てた。この技術により、品質向上と成形時間を短縮によるレンズの生産コストを低減の両立を実現した。
＞＞ 続きを見る

四胴型自動航行船の研究開発と、AIによる水質予報技術の確立

海面・内水面養殖業においては、水質予報のニーズが高まっている。このため、四胴型自動航行船の付帯装備の高度化技術を開発し、得られた水質ビッグデータを用いて超高分解能水質シミュレーションの精度を向上させる。また、AI技術を導入して養殖場の水質予報システムを開発する。付帯設備が高度化した四胴型自動航行船による水質ビッグデータと、市販PCで実行可能な水質予報システムを両立させることで、養殖漁業の持続可能な成長に貢献する。
＞＞ 続きを見る

Society5.0の実現に不可欠な超小型デジタル部品の生産性を飛躍的に高めるバレル研磨法の開発

（1）バレル研磨用φ0.3mmの微小研磨石の開発 ・超小型電子部品をバレル研磨加工する際に、部品と研磨石との間に空隙が生じると、部品にカケ不良が生じやすい。 ・従来最小だった1ｍｍの研磨石よりさらに小さい0.3ｍｍの研磨石を開発した。カケ不良の原因となる空隙をより小さく保ちつつ研磨加工できるようにした。 （2）40Gの超高圧バレル研磨機の開発 ・研磨石が小さくなると部品の細部に当たりやすくなるが、研磨力は乏しくなる。遠心力を従来の30Gから40Gへ引き上げ、研磨石の押圧力を高めることで従来以上の研磨性能を達成した。 ・高い押圧力で空隙を一層小さくし、カケ不良率が目標値を下回る1.8％を達成した。 （3）バレル研磨シミュレーターの開発 ・バレル研磨条件は通常、数十回の試行実験を繰り返して最適な条件を見出すが、バレル研磨シミュレーターを開発し、コンピューター上で机上実験できるようにした。これにより、数回の試行実験のみでバレル研磨条件を見出すことができるようになった。
＞＞ 続きを見る

世界初:ドライ・ウエット複合プロセスによる高耐久・高信頼性電磁波遮蔽車載用シールドフィルム技術の開発

この事業は、金属蒸着技術や有機膜塗布技術を活用し、特に車載用の高性能電磁波シールドフィルムの開発を目指す研究開発プロジェクトである。研究の目的は、表面処理技術の高度化を図り、特に川下製造業者の共通課題である「高機能化」と「品質安定性・長寿命化」に対応することにある。具体的には、電磁波シールドフィルムの各層(保護層、電磁波シールド層など)の性能を向上させ、特に高温高湿度環境下での耐久性や電磁波シールド特性の強化を目指す。開発の目標には、電磁波シールド層のコスト削減や、高周波領域におけるシールド性能の向上が含まれ、これを達成するために新しい材料技術や蒸着技術の開発も進められている。
＞＞ 続きを見る

希土類合金微細化技術を用いた重希土類フリー磁石の適用によるEV向け小型高効率アモルファスモータの開発

EV向け小型高効率PMモータの開発を目指し、重希土類フリー磁石と鉄基厚板アモルファスコアを組み合わせた新しいモータの最適設計を行う。従来のPMモータは、鉄損が大きい電磁鋼板を使用し、高速域での効率低下やトルク低下が問題となっている。これに対し、鉄基アモルファス材料は透磁率が高く、損失を低減するため、高効率化が期待されている。しかし、重希土類を含まない磁石は製造コストが高く、磁気特性の低下を抑制する必要がある。本研究では、重希土類フリー磁石の製造において、希土類合金の微細化技術を用いて高い保磁力(HcJ: 1,200-1,500kA/m)を実現することを目指す。これにより、製造コストを抑えつつ、必要な磁気特性を持つ磁石の開発が可能となる。また、鉄基アモルファスを用いた積層コアと重希土類フリー磁石の組み合わせによるPMモータの最適設計を行い、磁石の性能と材料特性を最大限に活用することで、小型で高効率なEV向けモータの実現を目指している。
＞＞ 続きを見る

高生産性施設栽培向け新規吸着材によるIoT施用システム搭載大気中CO2濃縮・供給装置の開発

本研究では、農業分野でのCO2施用技術の向上を目指し、大気中のCO2を濃縮・供給する新たな装置「C-SAVE Green®」の開発に取り組んでいる。この装置は、常温で高濃度(800ppm程度)のCO2を作物の葉近傍に局所的に供給できることを目的としており、従来の石油燃焼式技術に代わる環境負荷の少ない解決策として注目されている。装置の中心技術である新規吸着材と、それを担持したハニカムロータを開発し、エネルギー効率の向上と低コスト化を図る。事業の目標には、劣化が少なく長寿命の吸着材と、CO2濃度を高めるハニカムロータの製造技術の確立が含まれている。また、IoTを活用した施設内環境に応じたCO2施用システムを開発し、イチゴ栽培における収量の50%増を目指す実証試験も行う。この研究開発は、農家の要望に応えるべく、運転コストの削減とメンテナンス負荷の軽減を目指し、より持続可能で効率的なCO2施用技術を提供することを目的としている。
＞＞ 続きを見る