公益財団法人九州先端科学技術研究所

電子機器の軽薄短小、高機能化と共にニーズの多様化から生産量に応じた最適な規模の半導体生産システムが要求され、その実現のため超小型0.5インチウェハを使用するミニマルファブ構想が提案されている。本提案ではこの新構想に沿い、高集積化技術として有望な三次元半導体の生産を可能とし、小型、ダメージフリー、微細接合を特徴とする3D－LSI接合装置の開発を協力デバイスメーカー開発の新デバイス実証を通して行う
＞＞ 続きを見る

現在、半導体生産は少量多品種の傾向にある。一方、縮小転写工程で使用する原版製作費は上昇の一途にある。それらのマイナス要因による製造原価上昇はデバイス単価を押し上げ、その結果として販売不振や事業撤退等の事態を招いている。そこで、マスクレスで高スループットな生産装置を開発し、川下産業への投入を計画する。中核技術としては、高解像度スキャンニング描画方式、高深度投影技術、高輝度長寿命光源等が挙げられる
＞＞ 続きを見る

本提案では対象を高齢者に絞り、一人ひとりの体温・血圧・酸素飽和度といったバイタルの異常、観察・問診の内容、さらには既往歴から疾患の可能性を提示し診断の補助とすることが可能となる、自動鑑別診断アルゴリズムの開発を行う。その結果をフィードバックして自ら学習する学習AIを搭載することで、更に精度の高い鑑別診断を行うことが可能になる。あたかも経験豊富な医師が診断の支援をするかのように病態の判定を可能とし、高齢者医療を均一的かつ大幅に向上させる。
＞＞ 続きを見る

無線センサネットワークにはBLUETOOTH、ZIGBEE等があるが、相互接続や既存ネットワークとの接続はサーバー機器に委ねられており、どこにでも簡単に設置できるものではない。この接続性を小型、バッテリ駆動可能なユビキタス中継器を開発することで解消し、高齢者の見守り、家庭の防犯、工場設備の保守点検など、いつでもどこでも無線センサーを使用可能とするために、異なる方式のネットワーク間接続を高度化し中継技術を確立する
＞＞ 続きを見る

半導体産業では電子機器の小型化・高性能化に伴う三次元実装や少量多品種生産のニーズが高まりつつあり、特に医療・介護等の新成長戦略分野ではその傾向が高いと考えられる。本提案では、LSI三次元実装方法としてのTSV(シリコン貫通電極)貫通穴への側壁膜形成用イオンビームスパッタ装置に関するものであり、装置の超小型化及び加工時間の大幅短縮化(ミニマルファブ対応)、並びに連続多層膜形成技術の確立を図るものである
＞＞ 続きを見る

環境変動による価格の不安定性に対して頑健性を持つ植物工場(川下企業)の課題である生産性向上を低コストで実現可能にする、植物工場用レタス種子への照射環境制御型プラズマ援用種子処理装置開発を行う。プラズマ処理で課題となるプラズマ発生源の耐久性向上と照射環境制御を実現することで、大量の種子に再現性よくプラズマ照射可能とし、栽培技術との融合により発芽以降の成長促進を図る。
＞＞ 続きを見る

従来の大型エッチング装置と同等のプラズマ密度を発生させうる準共鳴型電子サイクロトロン共鳴技術に基づく新しい超小型プラズマ源を開発し、シリコン貫通電極の形成を可能にする高速ミニマルエッチング装置を完成させる。多品種少量生産に適した革新的半導体デバイス生産方式として期待されているミニマルファブシステムにおける3次元半導体デバイスの実現に不可欠な貫通配線作製の要素技術をミニマル装置として提供する
＞＞ 続きを見る

現在、携帯機器では無接点で効率的な充電方法が求められている。さらに、電子書籍などに使われている電子ペーパーでバッテリーをデバイスから除くことができるならば、薄型/軽量化に大きく貢献できる。そのベストな方法として電界結合型共鳴現象による無線電力伝送が考えられる。本提案では、低コストで高効率、安全で便利、多様な機器に対応した無線電力伝送の組込み制御ソフトウェアプラットフォームを開発し事業化を図る。
＞＞ 続きを見る