公益財団法人やまなし産業支援機構

従来の回転ブレードによる半導体ウェーハ切断加工においては、切断幅が広くチップの取得率が低く、切断時の振動等によるチップへのダメージが大きいという問題点があり、レーザによる高精度・高速ドライ加工の実現が求められている。そこで、各種レーザビームを発生できる加工実験装置を試作し、その装置を用いてレーザビームの制御技術および最適加工条件を確立し、実用化に向けたレーザダイシング技術開発を行う
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エネルギー、航空・宇宙、自動車等の産業では、エネルギー高効率化のため超高圧機器が使用されはじめている。これらの機器では製造時の品質管理で高圧を加えての漏れ検査が必須であるが、従来のヘリウムガスによる漏れ検査は、安全性・コスト等の点から量産に適用ができない。提案研究では検査媒体にヘリウムガスに替えて液体を使用することで、安全・低コストで量産に適用できる世界初の高圧部品用の定量漏れ検査装置を開発する
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現在普及が期待されている水素ステーションは、肉厚のステンレス管を機械式継手により締結する構造であり、70MPa以上の高圧で水素を供給している、しかし、本構造は信頼性やコスト面で課題を有する。本研究開発では、厚肉パイプ用自動溶接装置を開発し、溶接構造を採用した部品のサブモジュール化を進める。これにより、水素ステーションの設置費用を低減可能とし、水素社会を実現するためのインフラ整備を加速する。
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半導体ｼﾘｺﾝｳｴﾊの加工業者は高品質加工技術と出荷を行うべき高いレベルの検査診断技術を確立し、良品を安定して提供する義務がある。ウエハの薄型化が進む現在、極めて重要である。この2つの課題技術に対して、前者は次世代型「炭」砥石開発による低ダメージ加工の実現。後者は光散乱法によるサブミクロンでの診断技術を構築させ、従来技術から脱却し、品質が極めて高いレベルでのシリコンウエハの安定供給を可能にする
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自動車産業においては原油価格高騰、厳しい排出ガス規制、顧客ニーズの多様化等の問題があり、この解決手段として軽量化、短納期化、低コスト化などの技術的課題がある。それに対し、本研究では従来行われていなかった急速短時間加熱によるアルミニウム合金の高品質・高効率熱処理技術を開発し、課題解決に取り組む。素材評価と電源開発により新技術を確立し、アルミニウム合金の高周波熱処理装置の製品化と受託加工の実用化を目指す
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車の軽量化にはアルミ合金は大きな貢献をしている。強度や耐久性性能不足が大きな課題であり、母材の微細化組織と表面へのアルミ窒化層(ALN)形成が性能向上に有効とされ、微細化熱処理研究を行い実用化レベルにきている。一方、ALN層形成は既存の技術では窒化速度が著しく低く実用となっていない。そこであたらしい高密度のプラズマ窒化装置を開発し、微細化されたアルミ合金に短時間にALN層形成ができる技術を開発する
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次世代加工技術で要求される高速高精度レーザー加工を達成する為、自動制御された形状可変ミラーを搭載したレーザー加工機を開発し、ビーム形状が自在に制御されたレーザー切削加工技術を開発する。このために、形状可変ミラーの駆動電極形状とミラーコーティングの最適化を図るとともに、ビーム形状の計測と自動制御機構を開発する。これら要素技術をレーザー加工機として統合し、高度な加工技術を川下業者に提供する
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電子部品の小型・高機能・省エネニーズに必要とされる超微細加工を実現する為、高スループットと高精度を両立させたファイバーレーザ加工機用高性能光アイソレータを開発する。具体的には、新規光アイソレータ材料の大型化・均質化、高耐性コーティングの適正化を通して、高性能光アイソレータの事業化を目指す。開発した高性能光アイソレータはファイバーレーザ加工装置に搭載し、高度な微細加工技術として川下業者に提供する
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