研究開発された技術紹介

エネルギー、航空・宇宙、自動車等の産業では、エネルギー高効率化のため超高圧機器が使用されはじめている。これらの機器では製造時の品質管理で高圧を加えての漏れ検査が必須であるが、従来のヘリウムガスによる漏れ検査は、安全性・コスト等の点から量産に適用ができない。提案研究では検査媒体にヘリウムガスに替えて液体を使用することで、安全・低コストで量産に適用できる世界初の高圧部品用の定量漏れ検査装置を開発する

ヘリウムガス(気体)から高圧下でも体積変化の小さい液体に替えて「製造現場の安全」を確保し、「省エネルギーで低コスト」・「高い生産性」を実現した量産現場に投入できる高圧部品用の定量漏れ検査装置を開発する
(新技術)
高圧ヘリウムガスに変わる高圧液体を検査媒体とした高圧部品用の定量漏れ検査技術
(新技術の特徴)
「安全な製造環境」を確保し、且つ「低コスト」・「高生産性」な定量漏れ検査を実現

・液体/気体漏れ流量の圧力依存性が比較でき且つ液体漏れ流量が液体の流れで説明できることがわかった
・最大稼働圧力50Pa、検出下限10-5Paの高耐久ガス分析計を実現した
・検出漏れ量10-6～10-3Pam3/secのリークディテクタが開発できた
・10-7～10-5Pam3/secの液体蒸気流量が理論どおりに導入できることを実証した
・液体蒸気校正リークの長期安定度2～6%と絶対精度34%を確認した
・検査サイクル時間50sec未満を達成し、高S/Nにより検出下限10-6Pam3/secを実現した
・液体加圧・回収システムの開発において、印加圧力300MPa、液体回収効率90%を実現した

・高圧液体漏れ検査装置
‐量産ラインに投入可能な高圧部品用漏れ検査システム
・液体蒸気リークディテクタ
・高い検査圧力で稼働可能なガス分析計

・安全(高圧ヘリウムガスを使用しないため、装置が大破裂しない)
・低コスト(大型気体圧縮機、防護壁が不要)
・省エネルギー(大型気体圧縮機の連続運転がなく、液体加圧が容易)
・高い生産性(例：検査数は従来の100個以下/日に比べて、1,000個以上/日が可能)

水素燃料電池や航空機の液体水素利用、高効率天然ガス発電・ヒートポンプなど次世代のエネルギー革新技術開発、液体燃料を利用する自動車・航空機用や天然ガス火力発電用の高圧部品に対する、高圧液体漏れ検査装置と液体蒸気リークディテクタについて製品化し販売する予定である