研究開発された技術紹介

太陽電池、スマートフォン等の電子・情報機器の回路パターン形成に多用される高精細スクリーン印刷では、機器の高密度化からスクリーンマスクには、10μMオーダーの高精細化が要求され、現状の目視検査では対応困難である。このため、複数カメラから成るカメラ配列モジュールと、個々のカメラ画像を高速処理するハードウェア画像処理基板で構成するマスク検査装置を開発し、スクリーンマスクの品質向上と生産性向上を実現する。

組込みソフトウェアをFPGAに実装し、並列処理、パイプライン処理により高速に実行させる技術を使って産業用高精細スクリーン印刷マスク検査装置を開発する
(新技術)
組込みソフトウェアをFPGAに実装し、並列処理、パイプライン処理により高速に実行させる技術を開発する
(新技術の特徴)
・カメラを縦横に配列したモジュールをステップ駆動する
・専用ハードウェア画像処理基板により、光学歪の補正、フィルタリング、特徴抽出などを経て不良検出する

・カメラ配列ステッパー機構の開発
‐検査画像入力用カメラ配列モジュールおよびステッパー機構の開発をおこなった
・専用ハードウェア画像処理基板の開発
‐カメラ画像信号のローカル処理を行う画像処理基板および処理ロジック・ライブラリを開発した
・統合コントローラ回路基板と統合コントローラ制御プログラムの開発
‐大量の画像データを並列処理、パイプライン処理でユーザの求める高速処理技術を開発した

・高精細スクリーン印刷用マスク検査装置
・産業用画像検査システム構成コンポーネンツ商品(ステッパー機構、カメラ配列モジュール、FPGA搭載並列画像処理基板、HDMIカメラ、FPGA画像処理モジュール)

検査アルゴリズムのより多彩な手法の確立とFPGAへの実装、使い勝手の良い装置としてまとめ上げるユーザ・インターフェイスの開発を行い、早急に事業化に向かう

・検査装置を活用することによるコスト削減、効率化に貢献
‐従来2人の検査要員が2時間かけて行っていた高精細スクリーン印刷用マスクの精密な検査を、本検査装置を活用することにより、10分以下で行うことが可能となる
・検査装置のコンポーネント部品を個別に購入頂き、自社において自由に組み合わせて利活用が可能
‐精密部品および車載用高信頼性部品の検査システムを構成するために必要なステッパー機構、カメラ配列モジュール、FPGA搭載並列画像処理基板、HDMIカメラ、1024諧調の制御が可能なLED照明コントローラ、FPGA画像処理モジュールなどのコンポーネント部品の商品化が実現する
・検査処理プログラム提供により、自社検査システムに適した活用が可能
‐精密部品および車載用高信頼性部品の検査システムを構成するために必要な処理プログラム部品の提供が可能になる

・高精細スクリーン印刷用マスク検査装置の事業化を2～3年かけて行う
・高速画像検査システム構築に必要なコンポーネント部品(ステッパー機構、カメラ配列モジュール、FPGA搭載並列画像処理基板、HDMIカメラ、1024諧調の制御が可能なLED照明コントローラ、FPGA画像処理モジュール)を1年程度で商品化する