文字サイズ
標準
色の変更

サポイン技術紹介

  1. トップ
  2. サポイン技術検索
  3. 革新的有機半導体単結晶膜塗布装置により、フレキシブルデバイスに有用な有機半導体の動作性能の高速化、低コスト化を実現

材料製造プロセス

革新的有機半導体単結晶膜塗布装置により、フレキシブルデバイスに有用な有機半導体の動作性能の高速化、低コスト化を実現

岡山県

タツモ株式会社

2022年1月28日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 低コスト・高生産性を実現する革新的有機半導体結晶膜塗布装置の開発
基盤技術分野 材料製造プロセス
対象となる産業分野 医療・健康・介護、半導体、エレクトロニクス、物流・流通
産業分野でのニーズ対応 高性能化(既存機能の性能向上)、高性能化(信頼性・安全性向上)、高性能化(精度向上)、環境配慮、低コスト化
キーワード 加熱塗布、スリットコート、膜厚均一性、電子移動度、選択塗布
事業化状況 事業化に成功
事業実施年度 平成28年度~平成30年度

プロジェクトの詳細

事業概要

IOT(モノのインターネット)に繋がる、RF-IDタグ、更には有機ELディスプレイなどで、有機半導体の実用化に向けた開発が進められているが、有機半導体は、動作性能の高速化、低コスト化が、実用化に向けての課題となっている。タツモ株式会社では、グローバルTOPシェアの高精度スリットダイコート技術をベースに、ノズル吐出液量の安定化と分子配向の高速化を図り、動作性能の高速化、低コスト化を実現する有機半導体単結晶膜塗布装置の開発を行う

開発した技術のポイント

・フレキシブルデバイスで有用な有機半導体を塗布工法で高性能・高信頼性・低コストで実現
・有機半導体の動作速度・コスト高の課題にスリットコート技術で単結晶膜塗布装置を開発

具体的な成果

・大面積均一化膜による有機デバイスの性能向上
‐塗布結晶膜厚3分子±1分子
‐微結晶不均一領域3mm
・塗布結晶膜の生産性向上(10倍の見通しを立てる)
‐インク溶媒蒸発加速による塗布速度向上従来比2倍
‐有機材料高度化による塗布速度向上従来比3倍
‐マルチノズル化による塗布速度向上従来比3倍
・有機デバイスの試作と評価
‐アクティブマトリクス素子による電子移動度11.8cm2/Vs±8.8%
‐CMOS論理回路(インバータ回路)で133kHz動作実現

知財出願や広報活動等の状況

塗布装置及び塗布方法 特願2018-170186
           PCT/JP2019/033840
           台湾108132451

研究開発成果の利用シーン

開発した塗布工法及び塗布装置により、RF-IDタグや有機ELディスプレイなどのフレキシブルデバイスに用いられる有機半導体を高性能・高信頼性・低コストで塗布結晶化する

実用化・事業化の状況

事業化状況の詳細

開発途中ではあるが、現在までに、R&D用途として、高温加熱塗布の装置、関連機能ユニット(スリットノズル、塗布液供給ポンプ、加熱ユニットなど)の提供実績がある

提携可能な製品・サービス内容

設計・製作、共同研究・共同開発、技術ライセンス

製品・サービスのPRポイント

本技術により、電子タグ・ディスプレイ・センサなどのフレキシブルデバイスに必要となる低コスト・高電子移動度を有する有機半導体の実用化に資する技術開発である。また、特に加熱塗布システムについては、有機半導体だけでなく様々な高粘度材料への塗工の可能性が広がり、塗工での検討をされている企業に貢献できると期待している。

今後の実用化・事業化の見通し

プリンテッドエレクロニクス分野で8兆8000億円(2030年)規模が予測されている市場において、RF-IDタグや有機ELディスプレイなど、フレキシブルデバイスの製品化を促し、タツモはそれを有機半導体塗布装置の商品化に繋げ、R&D用塗布装置、G2サイズ対応生産用塗布装置、G4.5サイズ以上へ対応する本格量産用塗布装置へと順次、ビジネス展開を図って行く。
塗布装置の提供要請案件も含めて、本事業での開発成果を更に盛り込み、R&D用途、生産用途の受注に繋げ、2023年には約30億円規模/年の販売を目論んでいる

実用化・事業化にあたっての課題

販路拡大に向けては、現在のR&D装置から、量産を考慮した量産技術を盛り込んだ塗布装置の開発が必要である。ノズル洗浄等。

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 タツモ株式会社
事業管理機関 公益財団法人岡山県産業振興財団
研究等実施機関 国立大学法人東京大学 新領域創成科学研究科物質系専攻 教授 竹谷 純一
地方独立行政法人大阪産業技術研究所 電子・機械システム研究部 統括研究員 宇野 真由美
アドバイザー トッパン・フォームズ株式会社 取締役 田窪 米治、技術開発センター長 荒井 俊明、株式会社JOLED マネージャー 山上 剛、国立大学法人大阪大学 菅沼教授

サポイン事業者 企業情報

企業名 タツモ株式会社(法人番号:6260001018266)
事業内容 半導体製造装置、各種搬送ロボット、液晶製造装置、精密金型・樹脂成形品などの開発・製造・販売
社員数 307 名
生産拠点 本社工場、第3工場(岡山県井原市)、海外展開(ベトナム)
本社所在地 〒701-1221 岡山県岡山市北区芳賀5311
ホームページ https://www.tazmo.co.jp/
連絡先窓口 タツモ株式会社 開発部  戸村 操
メールアドレス misao.tomura@tazmo.co.jp
電話番号 086-239-5116