研究開発された技術紹介

極めて低反射率かつ高光線透過率となる新しい樹脂フィルムを大面積・低コストで製造すること目指したロールトゥロール‐ナノインプリントシステムの新技術確立を目的とする。ロール状金型へのモス・アイ構造の構築と、樹脂フィルムへ転写と離型技術、耐防汚コート技術の開発を行う。目標とするフィルムサイズは有効幅が100MM、転写速度1M/分、フィルムの絶対反射率0.1%以下を目標とする

低反射率光透過フィルムを量産する技術を開発するために、金型、転写樹脂、離型剤、ロールトゥロール(RTR)装置の各要素の開発を行う
(新技術)
樹脂表面にモス・アイ構造を持つ新たな樹脂材料を開発する
(新技術の特徴)
樹脂表面にモス・アイ構造を作成することで、極めて低反射率かつ高光線透過率を持ち、かつ量産が可能である

・大面積平板GCへのモス・アイ構造の作製-平行移動用のマニピュレータを作製、大面積のモス・アイ構造の作製を可能にした
・金型の表面離型機能の開発
-金型への金属薄膜蒸着によるフッ素系離型剤の固定化および、表面直接フッ素化を行った
・レプリカモールド専用樹脂および、ナノインプリント用光硬化樹脂の開発
-離型率向上による量産化を実現した
・ナノインプリント専用ロールトゥロールナノインプリント装置を開発
-大量生産、低コスト化を実現した

・平板状のグラッシーカーボン(GC)基板に表面処理を行い、離型性を付与した低反射率構造の金型
・ナノインプリントに適した、レプリカモールド専用樹脂および機能性光硬化樹脂
・低反射率構造を構築したレプリカ樹脂モールド

・低反射率ナノインプリントのモールドを作製し、反射率0.1%以下を達成した
・エッチング装置を改造し、100mmサイズの平板基板の原版モールドの作製が可能になった
・金型への金属薄膜蒸着によるフッ素系離型剤の固定化と、その最適化により、離型性を高めた(離型率100%)・レプリカモールド専用樹脂材料によりレプリカモールドを作製し、100mm幅低反射率フィルムを製造した

・モス・アイ構造により、低反射率・高光線透過率を実現する新たな樹脂フィルムを低コストで提供-新規の樹脂表面に、幅広く低反射率構造(モス・アイ構造)を付与、ロールトゥロール装置で作製することで、高品質・低コストのフィルムの開発に成功した・フレキシブルな低反射率フィルムの提供により、あらゆる形状に適応-数十um厚みのフィルムに施すことが出来るため、平板形状にとどまらず、形状可動物も含み、様々な形状の対象物に低反射表面を適用する事が可能となった・広帯域の波長分布において低反射を実現、多様な用途に使用可能-モス・アイ構造を形成することにより、紫外領域から赤外領域まで幅広い波長領域において低反射を実現した

・低反射率光透過フィルムの反射率を0.1%以下にするには、フィルムと基材およびその接着剤(画面テープなど)の屈折率を考慮したモス・アイ構造の設計を行い、光硬化樹脂の強度(表面のハードコート)の改良が必要である
・事業化に向けて低反射率光透過フィルムを大型化するためには、GC基板そのものの大型化や円筒GCの作製、鏡面仕上げの方法を構築する必要がある