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機械制御

MEMS、ナノテクノロジー分野に利用可能な超小型・高精度・高速応答の変位計測エンコーダを開発

神奈川県

エクストコム株式会社

2021年2月19日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 光MEMS技術を用いた独創的な構造の超小型・高精度・高速応答変位計測エンコーダの実用化開発
基盤技術分野 機械制御
対象となる産業分野 医療・健康・介護、環境・エネルギー、ロボット、産業機械、半導体、工作機械、光学機器
産業分野でのニーズ対応 高機能化(新たな機能の付与・追加)、高性能化(既存機能の性能向上)、高性能化(小型化・軽量化)、高性能化(精度向上)
キーワード ロータリエンコーダ、リニアエンコーダ、超小型、高分解能、高精度
事業化状況 実用化に成功し事業化に向けて取り組み中
事業実施年度 平成22年度~平成24年度

プロジェクトの詳細

事業概要

精密加工機械、半導体加工装置、ロボットなどの機械・装置において小型化、高精度化、高速化という課題及びニーズは大きい。これらの課題及びニーズに対応するため、これら機械・装置のメカニズムの「位置決め」に使用する「超小型・高精度・高速応答変位計測エンコーダ」を独創的な構造を考案して実現し光MEMS技術を用いて開発・実用化する

開発した技術のポイント

独創的な構造(特許取得)で超小型と高精度を同時に実現するのみならず高速化も同時に満足する変位計測エンコーダを開発する
(新技術)
超小型で高精度・高分解能・高速応答の3相信号出力変位計測エンコーダを開発する
(新技術の特徴)
超小型・高精度・高分解能・高速応答を同時に実現する

具体的な成果

・ABZ3相信号出力変位計測エンコーダの開発、評価
‐構成部品の品質安定化を実施、品質評価方法を確立した
・高速応答の初段増幅ICの開発
‐変位計測エンコーダに直接接続できる初段増幅ICを開発した
・エンコーダ応用製品試作
‐変位計測エンコーダの応用製品試作を実施、評価した

研究開発成果の利用シーン

超小型・高精度・高速応答ABZ3相信号出力変位計測エンコーダ(将来的に提供可能)
超小型ドップラーセンサとして評価中

実用化・事業化の状況

事業化状況の詳細

・MEMSデバイスの歩留り改善に時間とコストがかかる
・試作品で補完研究を継続的に実施中である
・試作品を評価可能な形態にし、評価用サンプルとして貸出しを実施中

提携可能な製品・サービス内容

設計・製作、製品製造、共同研究・共同開発、技術ライセンス

製品・サービスのPRポイント

・従来品と比較し、超小型・高精度・高分解能
‐変位計速エンコーダ
センサ本体
製品寸法:2.8mm×2.8mm×高さ1mm
分解能:0.4μm
・従来品と比較し、長寿命
‐長寿命カスタム半導体レーザを採用している光源寿命:10万時間以上・高付加価値で競争力のある製品開発が可能
‐同等製品がないため、差別化された高付加価値で競争力のある製品開発が可能である
・汎用性があり、製品の幅が拡大
≪応用製品の例≫
‐超小型ロータリエンコーダ
製品外径:φ20mm
出力パルス:20250P/Rインクリメンタル

今後の実用化・事業化の見通し

・2014年4月の展示会までに貸出サンプルを準備し、希望するユーザに評価用サンプル品の貸出を実施する
・同時に展示会への出展を積極的に行い、製品をPRする
・ホームページ及び展示会で市場調査を進め、事業化計画をブラッシュアップする

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 エクストコム株式会社
事業管理機関 エクストコム株式会社
研究等実施機関 国立大学法人九州大学 大学院工学研究院
国立大学法人東京大学 先端科学技術研究センター

サポイン事業者 企業情報

企業名 エクストコム株式会社(法人番号:6020001045549)
事業内容 角度・位置センサ、エンコーダ、レゾルバの開発・製造・販売
社員数 3 名
生産拠点 神奈川県大和市大和東3-6-18 松本ビル
本社所在地 〒242-0017 神奈川県大和市大和東3-6-18 松本ビル
ホームページ https://www.extcom.co.jp
連絡先窓口 代表取締役 千野忠男
メールアドレス info@extcom.co.jp
電話番号 046-200-2011