研究開発された技術紹介

精密加工機械、半導体加工装置、ロボットなどの機械・装置において小型化、高精度化、高速化という課題及びニーズは大きい。これらの課題及びニーズに対応するため、これら機械・装置のメカニズムの「位置決め」に使用する「超小型・高精度・高速応答変位計測エンコーダ」を独創的な構造を考案して実現し光MEMS技術を用いて開発・実用化する

独創的な構造(特許取得)で超小型と高精度を同時に実現するのみならず高速化も同時に満足する変位計測エンコーダを開発する
(新技術)
超小型で高精度・高分解能・高速応答の3相信号出力変位計測エンコーダを開発する
(新技術の特徴)
超小型・高精度・高分解能・高速応答を同時に実現する

・ABZ3相信号出力変位計測エンコーダの開発、評価
‐構成部品の品質安定化を実施、品質評価方法を確立した
・高速応答の初段増幅ICの開発
‐変位計測エンコーダに直接接続できる初段増幅ICを開発した
・エンコーダ応用製品試作
‐変位計測エンコーダの応用製品試作を実施、評価した

超小型・高精度・高速応答ABZ3相信号出力変位計測エンコーダ(将来的に提供可能)
超小型ドップラーセンサとして評価中

・MEMSデバイスの歩留り改善に時間とコストがかかる
・試作品で補完研究を継続的に実施中である
・試作品を評価可能な形態にし、評価用サンプルとして貸出しを実施中

・従来品と比較し、超小型・高精度・高分解能
‐変位計速エンコーダ
センサ本体
製品寸法:2.8mm×2.8mm×高さ1mm
分解能:0.4μm
・従来品と比較し、長寿命
‐長寿命カスタム半導体レーザを採用している光源寿命:10万時間以上・高付加価値で競争力のある製品開発が可能
‐同等製品がないため、差別化された高付加価値で競争力のある製品開発が可能である
・汎用性があり、製品の幅が拡大
≪応用製品の例≫
‐超小型ロータリエンコーダ
製品外径:φ20mm
出力パルス:20250P/Rインクリメンタル

・2014年4月の展示会までに貸出サンプルを準備し、希望するユーザに評価用サンプル品の貸出を実施する
・同時に展示会への出展を積極的に行い、製品をPRする
・ホームページ及び展示会で市場調査を進め、事業化計画をブラッシュアップする