研究開発された技術紹介

最先端の生体磁気計測装置等には磁気シールドが必須であるが、非常に高価であるため装置そのものの普及にとって大きな障害となっている。本事業では、従来の磁気シールド材料に代えて非晶質金属を熱処理により改質し、磁気シールド性能の補強法である磁気振動技術との整合性を高め、地磁気下における磁気特性を従来材料の20倍以上にすることを目的とする。結果として使用材料を大幅に低減させ、低コスト化を実現できる

Co系アモルファスシートの磁気特性を磁気シールド用に改質するため、熱処理技術を開発する。また、この素材を用いて軽量かつ低コストで、高性能な磁気シールドを開発し、MSRに活用する
(新技術)
Co系アモルファスの磁気特性を高める熱処理技術を開発する
(新技術の特徴)
高性能磁気シールド材を用いることで軽量化、低コスト化を図る

・磁気シールドモジュールの生産性改善
‐熱処理による磁気特性改善効果を再検証した
‐ラミネート加工方法を再検討した
・SQUIDセンサを用いた磁気シールド性能評価
‐SQUIDセンサ用磁気シールドボックスを作製した
‐磁気シールドボックスを評価した
・磁気シールド補強装置のMSRへの適用
‐磁気シールドルームへの応用を行った
・MSR性能設計のための磁界解析条件の検討
・基本的な磁気特性の向上、磁気シェイキングに適した熱処理条件を確立

特許等出願数１件、特許等登録数１件。展示会出展多数。

・Co(コバルト)系アモルファスを用いた軽量、高性能磁気シールドルーム(MSR)、その他製品
・磁気シェイキング技術を用いた磁気シールド製品

・従来技術で作られた既設MSRに、新技術で作られたシールド性能補強装置を組み合わせ、実際のMSRとして性能を評価した
・これにより、「既存MSRの遮蔽性能を5倍以上」を達成、実物大での実証段階はクリアした
・継続して補完研究を実施する

・従来より低コストで作製可能
‐従来のMSRには非常に高価なパーマロイと呼ばれる鉄・ニッケル合金が使われてきた
‐これを、Co系アモルファスのシートを用いて、軽量かつ低コストで、高性能な磁気シールド材に代替する
・MSRへの部分適用や従来技術とのハイブリッド等の汎用性
‐既存MSRの改造案件も増えており、性能アップを目的とした改造案件に関して、室内への補強シールド層として適応することも期待される
‐部分的な適応や、従来技術とのハイブリッドも可能である
・シェイキングによる遮蔽率の向上
‐アモルファス磁性体材料による遮蔽では磁気シェイキングを行うことにより、遮蔽率が4.3～4.9dBほど向上する
‐モジュール間の磁気的な結合を確実にして遮蔽率を高める可能性もある

・株式会社オータマでは年間5～10基のMSRを受注しているが、半導体製造装置用では実績のない新技術は採用される見込みが非常に低い
・研究用途でのMSRやサイズダウンした磁気シールド(ケース)などでは、重量や価格の低減、あるいは高性能化が重要視されることが多く新技術が適した案件が存在する
・その中でも最も新技術が有効に働くと考えられる扉および開口部補強への部分的な適用を進め、従来技術とのハイブリッドにて実績作りを目指す

特に半導体製造装置用では、実績のない新技術は採用されない。

複数の学会で、広く成果を発表することにより、マーケットニーズを探ると共に、研究開発を活発に行う企業であることをアピールする。