研究開発された技術紹介

小型燃料電池システム、及び医療用薬液注入に使用するマイクロポンプ、マイクロバルブなどの需要が高く、従来、これらに適した信頼性の高いマイクロポンプ、マイクロバルブは存在していなかった。このニーズに対応し、マイクロ金属プレス加工技術の高度化及びマイクロ接合技術マイクロシーリング技術を開発し、複合化することにより、信頼性の高いマイクロポンプ、マイクロバルブを実現する

高精度プレス成形を主とする金属材料μポンプ・バルブ創製を行った。マイクロ金型創製、金属薄材の精密プレス成形、及びマイクロ部品のメッキなど高精度マイクロ金属部品の創製技術を開発し、液体の輸送に必要な密閉性や開閉部のシール性を有するμバルブ(Φ3.0mm、L3.0mm)の開発に成功した。さらに、バルブをダイヤフラム型ポンプ筐体に圧入することにより、従来のシリコンポンプと同程度以上の性能を持つ高機能μポンプを開発した。

(新技術)
＜開発目標＞
1.金属板材のプレス、絞り加工及び型内組立加工によるμポンプ、μバルブを構築し、量産化を目指す
2.高精度金型加工、高精度位置あわせにより、μポンプ、μバルブを実現する

上記精密加工された金属部品の組合せによってポンプを構成した。仕様概要は以下の通りである。
・バルブプレート:材質SUS304Ht=0.01mm。
・インブッシュ:材質Tit=0.3mm鍛造によりマイクロリム成形。
・ダイヤフラム:材質SUS304Ht=0.03mm
・ポンプ性能の指標であるPQ特性値において、Q=400～700μL/min.atP=0kPa、f=10Hz。

特許出願数：６件、特許登録：1件、論文数：10件

小型燃料電池システム、及び医療用薬液注入に使用するマイクロポンプ、マイクロバルブなどの需要は依然高く、信頼性の高いマイクロポンプ、マイクロバルブは存在していない。事業化を希望する企業があれば技術移転する。

マイプロポンプは販売終了とした。

企業、大学等に向けて研究用マイクロポンプ／マイクロバルブを、試験的に供給した。本格的な採用に至らなかったため、マイプロポンプ／マイクロバルブは販売終了とした。

・平成21年度ものづくり中小企業製品開発等支援補助金を活用し、2010年上期までに量産を前提としたプロトタイプを完成させ、医療関連、分析機器関連、マイクロ燃料電池関連、小型冷却用途に向けて投入した。
・事業化実現のためには、表面改質技術・多層化接合技術を確立することが重要であり、量産性の高い製造方法によって安価な金属マイクロポンプを作る必要がある。

μポンプ、μバルブの中心的な要素部品であるバルブ部品をプレス加工により創成することを可能にし、寸法精度、平坦度の向上、表面粗さの低減が実現できた。今後は、型内組立加工技術を確立し、量産性を高める必要がある。

マイクロ金属プレス加工、マイクロ接合、マイクロシーリングの各技術を個別に開発した。これらの技術を複合化する企業体があれば、事業化が期待できる。