研究開発された技術紹介

東北大学が開発した高感度のTMR(トンネル磁気抵抗効果)センサを基に、インフラ検査向けの高精度磁気センサを開発し、少量多品種生産に対応するミニマル生産装置を確立することを目的としている。センサは鋼材の内部を検出でき、従来の表面検査よりも詳細な検査が可能である。この技術により、インフラ構造物の内部損傷や劣化予兆を検出することで、メンテナンス効率を向上させ、長期的なコスト削減を図る。

・小型真空容器の開発
-Be-Cu材料のミニマルチャンバへの適用を実現した。
-目標の到達真空度、温度均一性を実現した。
・ミニマル装置としての機能統合
-Be-Cuミニマルチャンバに付帯する膜厚制御、界面制御、絶縁膜成膜を可能とするソフトハードの開発を完了した。
-すべての機能をミニマル規格に収納し、目標の寸法に収まる装置を完成した。
・ミニマル基盤プロセスの確立
-製作したミニマル装置を用いてTMRセンサ積層構造を作製しnmオーダの膜厚制御と界面制御が行えることを断面透過電子顕微鏡評価から実証した。
-磁性膜と絶縁膜の界面は従来のスパッタ法に対しても優位性があり、TMRセンサ特性の改善が可能であることを確認した。

真空容器をBe-Cuとし部分冷却することで脱ガス量は1/10に低減できることを実証し、得られた結果は特許出願を完了している。
国内の展示会に定期的に出展し、PRを行っている。

インフラモニタリングや定期的な非破壊検査に活用され、橋梁やトンネルなどの社会インフラにおける内部構造の健全性確認に利用される。また、将来的には重要な構造物にTMRセンサを設置し、常時インフラ構造物の状態をモニタリング可能になる。

一連の開発により最終年度にはすべての機能をミニマル規格に収納し、さらに成膜プロセスの自動化も可能とした。これらの取り組みによりミニマル装置として販売可能とした。市場拡大のため、展示会やを活用したPR活動も進行中。

鋼材内部の検出が可能な高精度な磁気センサを提供し、従来の表面検査技術に比べてより詳細な検査が可能である。さらに、小型成膜装置による効率的な生産が実現し、少量多品種生産にも対応。コスト削減と短納期化を達成し、幅広いインフラ検査に対応できる技術である。

事業終了後の最初の1年～2年初めは一部ミニマル装置販売企業や研究機関に納入し、装置評価と製造実績をつくる。装置の完成度を高め、同時にPR活動を行う。
2年～3年目はファブシステムに関係している企業への売り込みを推進する。
4年目以降直接販売に関して専任担当者を社内に設け、上記の潜在的な顧客に拡販するとともに、装置のリースを想定した収益化にも取り組む。

・販売価格の低減
・装置のリース、受託成膜事業の確立