研究開発された技術紹介

マイクロ波液中プラズマは、液相において、還元剤を用いずに金属化合物を還元し、また金属塊から直接的に高品質なナノ粒子を高速に低コスト、低環境負荷で製造可能である。本事業では、この技術を用いて、(1)情報通信機器の実装技術である印刷配線技術の高機能化のための高品質な金属ナノ粒子ペースト材料の製造技術の確立を行い、安価で高品質のものを川下企業に提供する。

マイクロ波液中プラズマを用いて情報通信機器の実装技術である印刷配線技術の高機能化のための高品質な金属ナノ粒子ペースト材料の製造技術を確立する
(新技術)
マイクロ波液中プラズマによる金属ナノ粒子製造法を開発する
(新技術の特徴)
金属塊から直接的に高品質なナノ粒子を高速に低コスト、低環境負荷で製造可能である

・マイクロ波液中プラズマ装置の開発
‐電極形状及び繰り出し機構の最適化を行った
‐マイクロ波電源の最適化を行った
‐リアクタの改良を実施した
・最適なナノ粒子生成条件の探査
‐粒径及び形状を制御する条件を明らかにした
‐粒子のペースト化及び評価を行った
・プロトタイプ機の製作

・金属ナノ粒子製造のためのマイクロ波液中プラズマ装置
・電子部品・デバイスを実装するプリント基板の配線用のナノ粒子

ナノ粒子の安定的商業生産のため、プロトタイプ機の連続稼働時間の伸長対策と連続回収機構を継続研究中であり、ナノ粒子のサンプル提供のみ可能な状況である

・プリント配線のさらなる小型化・高密度集積によるコストの削減
‐高品質な金属ナノ粒子ペースト材料によって、Cuナノ粒子のインクジェットプリント用インクで高密度配線ができる
・マイクロ波を用いたナノ粒子生成装置による製造コストの削減
‐マイクロ波を用いてナノ粒子を生成するマイクロ波液中プラズマ装置により、ニーズに応じたナノ粒子をつくることができる

・マイクロ波液中プラズマ装置の連続稼働時間を延ばすこと、ナノ粒子の連続回収機構の課題解決のため継続研究中である
・マイクロ波液中プラズマ装置を今後3年以内に販売開始予定である
・販売開始した際には、60%程度の市場占有率を得ることを予想している
・ナノ粒子の製造・販売は投資等の面から検討中である