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精密加工

高効率・高精度な回転体ミラーの開発!

長野県

夏目光学株式会社

2020年4月8日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 高効率・高精度回転体型X線ミラーの製造技術の開発
基盤技術分野 精密加工
対象となる産業分野 航空・宇宙、光学機器
産業分野でのニーズ対応 高機能化(新たな機能の付与・追加)、高性能化(既存機能の性能向上)、高性能化(精度向上)、高効率化(同じ生産量に対するリソースの削減)、高効率化(生産性増加)、低コスト化、デザイン性・意匠性の向上
キーワード 軟X線ミラー
事業化状況 実用化に成功し事業化間近
事業実施年度 平成28年度~平成30年度

プロジェクトの詳細

事業概要

小型X線光源から大型放射光施設まで、X線を利用する分析装置には、集光・結像するための高精度ミラーが必要である。X線は波長が10NM以下と短いため、設計値の性能を満たすためには、極めて高い精度が必要である。本開発では、X線領域において、集光効率、分解能、開口などの点で、理想的な性能を有する回転体ミラーの作製プロセスを確立する。大型化を図り、より多くの分析装置に適応可能な回転体ミラーを実用化する

開発した技術のポイント

・回転体ミラー製造プロセスの高精度化と大型化
・微小ツールによる精密加工法
・3次元計測の高度化
・高精度電鋳法

具体的な成果

・回転体ミラー製造プロセスの高精度化と大型化
 ‐マンドレル加工技術の高精度化と、3次元計測技術を開発
 ‐マンドレル加工、計測プロセスの大型化を実現
 ‐回転体ミラー製作プロセス(電極蒸着、電鋳)の大型化を実現

・120mm回転楕円ミラーの試作・評価
 ‐120mm回転楕円ミラーの試作を実現
 ‐放射光施設(SPring-8)でのX線集光実験を実施
 ‐受光効率3倍、集光性能1um以下を実現

知財出願や広報活動等の状況

広報活動
2019年8月14日 SPIE OPTICS+PHOTONICSにおいて事業成果を含む内容で講演発表
・Development of 120-mm-long ellipsoidal mirror for soft x-ray microscopy

研究開発成果の利用シーン
研究開発成果の利用シーンに関する画像 (002)

・軟X線用回転楕円体ミラー
・軟X線用回転体ウォルターミラー

実用化・事業化の状況

事業化状況の詳細

・試作製品の評価を特定ユーザーに実施してもらっている
・量産体制の確立に向けて、生産設備の増設
・国際学会で広報活動の実施

提携可能な製品・サービス内容

設計・製作、製品製造、共同研究・共同開発

製品・サービスのPRポイント

・軟X線用回転楕円体ミラー
 ‐集光性能1μm以下の軟X線集光ミラーが作成可能
 ‐既存分析より高精度かつ高効率な分析が実現

・軟X線用回転体ウォルターミラー
 ‐結像分解能1μm以下のウォルターミラーが実現可能
 ‐X線イメージングにおける高精度化が実現

今後の実用化・事業化の見通し

・量産化を実現し、ユーザーへの販売とその他市場への拡販と供給を進める(2019年度~2020年度)
・市場動向を注視し、事業拡大を図る(2020年度~2021年度)

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 夏目光学株式会社
事業管理機関 公益財団法人長野県テクノ財団 伊那テクノバレー地域センター
研究等実施機関 国立大学法人東京大学 工学部精密工学科 三村研究室

サポイン事業者 企業情報

企業名 夏目光学株式会社(法人番号:6100001022630)
事業内容 製造業(光学素子)
社員数 260 名
本社所在地 〒395-0808 長野県飯田市鼎上茶屋3461
ホームページ https://www.mflens.co.jp/
連絡先窓口 テクノロジーセンター所長橋爪寛和
メールアドレス hirokazu@mflens.co.jp
電話番号 0265-27-5171