精密加工
高効率・高精度な回転体ミラーの開発!
長野県
夏目光学株式会社
2023年2月4日更新
プロジェクトの基本情報
| プロジェクト名 | 高効率・高精度回転体型X線ミラーの製造技術の開発 |
|---|---|
| 基盤技術分野 | 精密加工 |
| 対象となる産業分野 | 航空・宇宙、光学機器 |
| 産業分野でのニーズ対応 | 高機能化（新たな機能の付与・追加）、高性能化（既存機能の性能向上）、高性能化（精度向上）、高効率化（同じ生産量に対するリソースの削減）、高効率化（生産性増加）、低コスト化、デザイン性・意匠性の向上 |
| キーワード | 軟X線ミラー |
| 事業化状況 | 事業化に成功し継続的な取引が続いている |
| 事業実施年度 | 平成28年度～平成30年度 |
プロジェクトの詳細
事業概要
小型X線光源から大型放射光施設まで、X線を利用する分析装置には、集光・結像するための高精度ミラーが必要である。X線は波長が10NM以下と短いため、設計値の性能を満たすためには、極めて高い精度が必要である。本開発では、X線領域において、集光効率、分解能、開口などの点で、理想的な性能を有する回転体ミラーの作製プロセスを確立する。大型化を図り、より多くの分析装置に適応可能な回転体ミラーを実用化する
開発した技術のポイント
・回転体ミラー製造プロセスの高精度化と大型化
・微小ツールによる精密加工法
・3次元計測の高度化
・高精度電鋳法
具体的な成果
・回転体ミラー製造プロセスの高精度化と大型化
‐マンドレル加工技術の高精度化と、3次元計測技術を開発
‐マンドレル加工、計測プロセスの大型化を実現
‐回転体ミラー製作プロセス(電極蒸着、電鋳)の大型化を実現
・120mm回転楕円ミラーの試作・評価
‐120mm回転楕円ミラーの試作を実現
‐放射光施設(SPring-8)でのX線集光実験を実施
‐受光効率3倍、集光性能1um以下を実現
知財出願や広報活動等の状況
広報活動
2019年8月14日 SPIE OPTICS+PHOTONICSにおいて事業成果を含む内容で講演発表
・Development of 120-mm-long ellipsoidal mirror for soft x-ray microscopy
研究開発成果の利用シーン
・軟X線用回転楕円体ミラー
・軟X線用回転体ウォルターミラー
実用化・事業化の状況
事業化状況の詳細
・試作製品の評価を特定ユーザーに実施してもらっている
・量産体制の確立に向けて、生産設備の増設
・国際学会で広報活動の実施
提携可能な製品・サービス内容
設計・製作、製品製造、共同研究・共同開発
製品・サービスのPRポイント
・軟X線用回転楕円体ミラー
‐集光性能1μm以下の軟X線集光ミラーが作成可能
‐既存分析より高精度かつ高効率な分析が実現
・軟X線用回転体ウォルターミラー
‐結像分解能1μm以下のウォルターミラーが実現可能
‐X線イメージングにおける高精度化が実現
今後の実用化・事業化の見通し
・量産化を実現し、ユーザーへの販売とその他市場への拡販と供給を進める(2019年度～2020年度)
・市場動向を注視し、事業拡大を図る(2020年度～2021年度)
プロジェクトの実施体制
| 主たる研究等実施機関 | 夏目光学株式会社 |
|---|---|
| 事業管理機関 | 公益財団法人長野県テクノ財団 伊那テクノバレー地域センター |
| 研究等実施機関 | 国立大学法人東京大学 工学部精密工学科 三村研究室 |
参考情報
主たる研究等実施機関 企業情報
| 企業名 | 夏目光学株式会社（法人番号：6100001022630） |
|---|---|
| 事業内容 | 製造業（光学素子） |
| 社員数 | 260 名 |
| 本社所在地 | 〒395-0808 長野県飯田市鼎上茶屋3461 |
| ホームページ | https://www.mflens.co.jp/ |
| 連絡先窓口 | テクノロジーセンター所長橋爪寛和 |
| メールアドレス | hirokazu@mflens.co.jp |
| 電話番号 | 0265-27-5171 |
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