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測定計測

次世代8K高精細フラットパネルの高歩留まり製造を実現する欠陥検査システムの実用化開発!

広島県

オー・エイチ・ティー株式会社

2020年4月15日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 次世代8K高精細フラットパネルの高歩留まり製造を実現する欠陥検査システムの実用化開発
基盤技術分野 測定計測
対象となる産業分野 産業機械、エレクトロニクス
産業分野でのニーズ対応 高性能化(既存機能の性能向上)、高性能化(精度向上)
キーワード 8K高精細フラットパネル、欠陥検査システム
事業化状況 事業化に成功し継続的な取引が続いている
事業実施年度 平成27年度~平成29年度

プロジェクトの詳細

事業概要

8KTV等高精細化するフラットパネルのメーカーには、欠陥見逃しによる歩留まり低下の課題がある。センサー・検出回路のS/N比向上およびデジタル信号処理によるノイズ除去率の向上でセンサーの高感度化を図り、高解像度パネルの欠陥検出能力を60%から97%以上とすることで工程歩留まりを飛躍的に改善させ、製造コストの削減によって、パネルメーカーが安価でかつ安定した製品供給ができることを目指す

開発した技術のポイント

・指向性の向上で非接触検査ヘッドの性能向上を図り、振幅信号と位相信号を組合わせた検出アルゴリズムの開発およびノイズ除去のためのデジタル信号処理を開発するとともに、フラットパネル基板とのギャップを従来100μm→50μmに近づけてスキャン可能とし、欠陥検出率を従来65.9%→97%に向上させる
・欠陥検査データを集積、分析、学習させて、工程の異常分析の自動化を可能とする

(新技術)
・サブ電極設置による指向性向上・振幅信号に加えて位相情報を取り出す検波回路と、ディジタル信号処理による高ノイズ除去
・リアルタイムな関数近似で表面うねりを抽出する機能を、計算知能技術で高度化
・データ分析手法のデータクラウドシステムへの組み込み

(新技術のポイント)
・信号の解像度が目標2.5倍→4.38倍となり、感度も目標2.0倍→14.9倍と技術目標を達成
・ギャップを50μm±5μmの精度で制御し、基板表面の凸凹に沿ったスキャンが可能
・蓄積データからプロセス改善の知識が抽出可能となり、スマートタブレットで情報を可視化

具体的な成果

・高解像度かつ高感度の高機能非接触検査ヘッドの開発
‐信号の指向性を高めた非接触検査ヘッド
‐振幅信号と位相信号を組合せた欠陥検出アルゴリズム
‐ノイズ除去のためのデジタル信号処理技術

・フラットパネル基板と非接触検査ヘッド間のギャップ制御技術の開発
‐非接触検査ヘッド用ギャップセンサ
‐リアルタイム関数近似での表面うねり抽出アルゴリズム
‐計算知能技術による欠陥検出の高度化
‐組み込みGPUクラスタによる高速計算

・欠陥検査データの集積、分析、学習システムの開発と、スマートタブレットによる情報可視化

研究開発成果の利用シーン

・8K高精細対応の次世代テレビ・映像機器
・高精細フラットパネル検査装置

実用化・事業化の状況

事業化状況の詳細

売上23.5百万(平成31年度)
既存機改造・新規導入

提携可能な製品・サービス内容

素材・部品製造、製品製造

製品・サービスのPRポイント

・8K等の高精細フラットパネルに対して、検出率97%の高精度で配線の欠陥を検出可能
・蓄積された欠陥データから分析・学習することで、ベテラン検査員のノウハウに依存しない知能化された欠陥検出の自動化が可能

今後の実用化・事業化の見通し

・既存製品に対して、検査ヘッドや検査システム/ソフトウェアを改造する形で新技術の導入を進める
・並行して、新規開発した非接触検査装置を販売する
・有機ELパネルの欠陥検出システムの事業化を進める

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 オー・エイチ・ティー株式会社
事業管理機関 公益財団法人ひろしま産業振興機構
研究等実施機関 公立大学法人県立広島大学
公立大学法人広島市立大学
学校法人鶴学園広島工業大学
アドバイザー パナソニック液晶プラズマディスプレイ㈱

サポイン事業者 企業情報

企業名 オー・エイチ・ティー株式会社(法人番号:8240001029453)
事業内容 非接触電気検査装置の企画・製造・販売
社員数 85 名
本社所在地 〒720-2103 広島県福山市神辺町字西中条1118番地の1
ホームページ http://www.oht-inc.co.jp/
連絡先窓口 研究開発部
メールアドレス oht@ohtinc.jp
電話番号 084-960-2120