研究開発された技術紹介

8KTV等高精細化するフラットパネルのメーカーには、欠陥見逃しによる歩留まり低下の課題がある。センサー・検出回路のS/N比向上およびデジタル信号処理によるノイズ除去率の向上でセンサーの高感度化を図り、高解像度パネルの欠陥検出能力を60％から97％以上とすることで工程歩留まりを飛躍的に改善させ、製造コストの削減によって、パネルメーカーが安価でかつ安定した製品供給ができることを目指す

・指向性の向上で非接触検査ヘッドの性能向上を図り、振幅信号と位相信号を組合わせた検出アルゴリズムの開発およびノイズ除去のためのデジタル信号処理を開発するとともに、フラットパネル基板とのギャップを従来100μm→50μmに近づけてスキャン可能とし、欠陥検出率を従来65.9%→97%に向上させる
・欠陥検査データを集積、分析、学習させて、工程の異常分析の自動化を可能とする

(新技術)
・サブ電極設置による指向性向上・振幅信号に加えて位相情報を取り出す検波回路と、ディジタル信号処理による高ノイズ除去
・リアルタイムな関数近似で表面うねりを抽出する機能を、計算知能技術で高度化
・データ分析手法のデータクラウドシステムへの組み込み

(新技術のポイント)
・信号の解像度が目標2.5倍→4.38倍となり、感度も目標2.0倍→14.9倍と技術目標を達成
・ギャップを50μm±5μmの精度で制御し、基板表面の凸凹に沿ったスキャンが可能
・蓄積データからプロセス改善の知識が抽出可能となり、スマートタブレットで情報を可視化

・高解像度かつ高感度の高機能非接触検査ヘッドの開発
‐信号の指向性を高めた非接触検査ヘッド
‐振幅信号と位相信号を組合せた欠陥検出アルゴリズム
‐ノイズ除去のためのデジタル信号処理技術

・フラットパネル基板と非接触検査ヘッド間のギャップ制御技術の開発
‐非接触検査ヘッド用ギャップセンサ
‐リアルタイム関数近似での表面うねり抽出アルゴリズム
‐計算知能技術による欠陥検出の高度化
‐組み込みGPUクラスタによる高速計算

・欠陥検査データの集積、分析、学習システムの開発と、スマートタブレットによる情報可視化

・8K高精細対応の次世代テレビ・映像機器
・高精細フラットパネル検査装置

売上23.5百万（平成31年度）
既存機改造・新規導入

・8K等の高精細フラットパネルに対して、検出率97%の高精度で配線の欠陥を検出可能
・蓄積された欠陥データから分析・学習することで、ベテラン検査員のノウハウに依存しない知能化された欠陥検出の自動化が可能

・既存製品に対して、検査ヘッドや検査システム/ソフトウェアを改造する形で新技術の導入を進める
・並行して、新規開発した非接触検査装置を販売する
・有機ELパネルの欠陥検出システムの事業化を進める