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表面処理

塗布量1μl/1plを実現するノズルの研究・開発

東京都

テクダイヤ株式会社

2021年2月19日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 高品位極微少量塗布用ステンレスマイクロノズルの表面機能制御技術の研究・開発
基盤技術分野 表面処理
対象となる産業分野 医療・健康・介護、航空・宇宙、半導体、エレクトロニクス
産業分野でのニーズ対応 高機能化(新たな機能の付与・追加)、高性能化(既存機能の性能向上)、高性能化(耐久性向上)
キーワード 精密ノズル
事業化状況 実用化に成功し事業化に向けて取り組み中
事業実施年度 平成27年度~平成29年度

プロジェクトの詳細

事業概要

情報通信機器及びエレクトロニクス分野では装置・部品の小型・薄型化、高集積化が進行し、その製造に、より微量の塗布剤を高精度・安定して塗布する技術の確立が喫緊課題である。本事業では、従来の塗布用ステンレスノズル特性を流体抵抗・表面濡れ性の観点から再構築し、極微少量塗布用マイクロノズルを具現化するため、高密度窒素固溶技術及び表面ナノ周期構造形成技術により、塗布性能を最適化する表面機能制御技術を開発する

開発した技術のポイント

従来の高精度塗布用ステンレスノズルの塗布性能では不可能な塗布特性領域を実現し、極少量塗布性能と安全性を備えたステンレスマイクロノズルを実現する

(新技術)
低温高密度化窒化プラズマによるステンレス表面への高密度窒素固溶技術とフェムト秒レーザーによる金属表面へのナノ周期構造技術

(新技術のポイント)
ルビー材の硬さ、流体抵抗の低さ、疎水性等の塗布性能向上に必要な特性をステンレス内外面への高密度窒素固溶技術技術により再現する点

具体的な成果

・窒素固溶技術によるステンレス表面特性仔魚技術開発
‐ステンレスの低温高密度窒素固溶表面の特徴的な性質を解明
‐ステンレスマイクロノズルの窒化特性の解明

・フェムト秒パルスレーザーによるステンレス表面のナノ周期構造形成による撥水性制御技術開発
‐ステンレス表面への超撥水ナノ周期構造形成の確認
‐ステンレスノズル先端ノズル孔周りの表面への超撥水加工の実証

・極微少量塗布用ステンレスマイクロノズルの表面機能最適化技術開発
‐ノズル径6μm及び10μmのステンレスマイクロノズルの開発
‐ノズル液滴シミュレーション技術の開発

研究開発成果の利用シーン

・カメラモジュール
・スマートフォン

実用化・事業化の状況

事業化状況の詳細

製造工程の標準化、および品質保証設計の段階

提携可能な製品・サービス内容

設計・製作

製品・サービスのPRポイント

・小型化・高画素化
・有機ELの高画素化(4K化)に伴うEL材料の微小画素化

今後の実用化・事業化の見通し

世界の大手電子デバイス用溶剤メーカ、世界の主要電子デバイス製造メーカを中心に攻略し、事業化を図る予定

プロジェクトの実施体制

主たる研究等実施機関 テクダイヤ株式会社
事業管理機関 株式会社キャンパスクリエイト
研究等実施機関 学校法人芝浦工業大学

主たる研究等実施機関 企業情報

企業名 テクダイヤ株式会社(法人番号:13301007747)
事業内容 セラミック、ダイヤモンド応用製品、精密機械加工製品
社員数 84 名
本社所在地 〒182-8585 東京都港区4-3-4 田町きよたビル2F
ホームページ https://www.tecdia.com/jp/
連絡先窓口 株式会社キャンパスクリエイト 取締役 技術開発部ゼネラルマネージャー 佐藤公俊
メールアドレス satoh@campuscreate.com
電話番号 042-490-5735