研究開発された技術紹介

電子機器の高機能化、多様化などによる少量生産化や、医療用半導体のような少量多品種生産品などに対応し、最適な規模の半導体生産システムが求められている。その実現のため超小型な0.5インチウエハを使用するミニマルファブシステムが提案されており、当提案ではこの構想に沿い、高集積化技術として有望な三次元半導体を製作可能なTSVめっき装置の開発を行い、高速めっきを特徴とするTSVめっき装置を構築する

TSVめっき装置の小型化・高速化、使用薬品量・水洗量の最少化を特徴とするミニマルTSVめっき装置の開発


(新技術)
ミニマルファブ構想に基づき、ウェハ後工程である「TSVめっき」工程の装置開発を行う
(新技術の特徴)
めっき製品生産コスト削減、めっき時間の工期短縮、薬品等使用量削減を実現する

・ミニマル規格(294mm×450mm×1,440mm)を満足し、TSVめっきが可能な「ミニマルTSVめっき装置」を作製した
・水洗工程における水洗水量1ウェハ当たり約20mLを達成した(目標:1ウェハ当たり約30mL)
・めっき液タンク・水洗タンク・廃液タンクの各タンク容量2Lを達成した(目標:従来取扱量(数t)の1/1,000以下)

ミニマルTSVめっき装置、サービスエンジニアリング(メンテナンス)部品(小型整流器等)・薬品(めっき液等)

事業化に向けて川下への営業活動を展開中。

・装置幅:294mm(従来比1/16)
・ウエハサイズ:0.5inch(12.5mm)(従来比1/24)
・めっき液量:少量(数L)(従来比1/1000)
・めっき廃液量:少量(全建浴時:数L)(従来比1/1000)
・水量:少量
・めっきセル形状:小型

・TSVめっき装置の事業化展開において、(1)装置販売、(2)サービスエンジニアリング(装置技術、めっき技術)、(3)薬品販売の3つがあり、装置販売については、種々の展示会において広報・宣伝活動を行い、国内および海外への販売拡大を目指す
・小型特殊整流器は、同等品が存在しないことより、整流器単体での需要も考えられる
・装置立ち上げ時のめっき条件検討や装置購入後の装置メンテナンス、およびTSVめっきプロセス開発等のコンサルタント業務、TSVめっき液の販売や使用後の廃液の回収も需要が期待できる
・熱膨張抑制添加剤については特許を取得し(大阪府立大学)、めっきメーカーへライセシングを行う