国立大学法人東北大学

自動車の更なる燃費向上には、ランガサイト型圧電結晶を用いたエンジン内燃焼圧センサーが必要とされるが、従来法ではバルク単結晶からの加工コストが大きく実用化に大きな弊害となっている。本事業ではデバイス形状が直接作製できるマイクロ引き下げ装置における上流から下流まで全ての要素技術を見直し、中小企業に存在する世界にも高レベルの技術を掘り起こし垂直統合することで、低価格な圧電結晶素子の製造技術を確立する
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セメント製造業、鉄鋼製造業などでは長大な原材料運搬用ベルトコンベイヤーが設置され運用されている。本研究開発ではこのようなプラントの予防保全システムの構築のためにプラントの振動をモニタするエナジーハーベスタ、振動センサ、電源IC、CPU、無線送受信装置から構成されるセンサネットワークノードを研究開発する。同時に異常状態のデータベース無しで予防保全が可能な新たなビッグデータ処理法を研究開発する。
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MEMSデバイスでは、ドライエッチング時に発生する表面荒れに起因した性能劣化が大きな課題であり、有効な表面平滑化技術が無い。そこで、革新的な表面平滑化処理を実現する水素アニールとレーザ加熱技術を融合したミニマルレーザ水素アニール装置を開発し、更にスキャロップの極めて小さいミニマル高速Boschプロセス技術と融合させることで、原子レベル超平滑化技術を開発し、高品質MEMSデバイス製造基盤を確立する。
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海中自立発電機とは、海水の潮流や海流でタービンの回転を、磁気ギアを用いて増速して、発電機を回す仕組みとなっている。本研究では、当社で開発実績のあるSPM型磁気ギアよりも、さらに高伝達特性・低コストを目指した、新型IPM型磁気ギアを開発することを目標とする。
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