研究開発された技術紹介

本研究では、赤外領域に対応した高出力レーザー耐性を持つ光学薄膜の成膜技術と、それを実現するための装置開発が行われた。従来の蒸着法やスパッタリング法に加え、集中パルスイオン照射機構を備えたハイブリッド成膜装置を開発し、赤外領域で高い耐性を持つ薄膜を効率的に形成する技術を確立した。また、レーザー損傷閾値が293.3J/cm2という高い値を達成することができた。

・集中パルスイオン照射機構を導入した成膜技術
・蒸着スパッタハイブリッド装置による高精度成膜
・レーザー耐性を向上させるための高緻密性・低吸収性光学薄膜の形成
・従来技術に比べ、3.0倍のレーザー耐性を実現

本事業で、特許出願に結びつく新規性・進歩性の高い発明については、出願検討を行い権利確保を目指す。現在、シンクロンは200件程度の真空に関する技術について特許権を有している。

本研究の成果は、LiDARやレーザー加工機といった産業用装置に活用できる。特に、自動運転車向けの高出力レーザーセンサーや、レーザー加工機での精密加工における光学薄膜部品の耐久性向上に寄与する。

レーザー耐性光学薄膜形成技術の実証に成功し、事業化に向けたプロトタイプ装置を開発した。現在は市場調査と共に、顧客からのニーズを反映した製品化が進行中である。特に、レーザー加工機メーカーやLiDARメーカーへの展開が期待されている。

赤外領域における高出力レーザー耐性を実現した光学薄膜成膜技術を提供。従来技術よりも耐久性が高く、幅広いレーザー用途に対応可能である。また、蒸着スパッタハイブリッド機構を搭載した装置により、様々な材料の成膜が実現する。

今後は、量産化に向けたプロセスの最適化と共に、さらなる市場調査を進めていく。また、レーザー加工や自動運転向けLiDARなど、様々なアプリケーションに対応する製品開発が進められている。

・レーザー耐性のさらなる向上と量産化に向けたコスト削減
・成膜装置の性能向上とプロセスの最適化
・顧客ニーズに応じた製品改良と市場展開

高レーザー耐性ニーズを持つLiDAR、レーザー加工機、レーザー光源を製造している企業との連携を模索中