研究開発された技術紹介

本事業では、グレーティング専用加工機を開発し、反射面の表面粗さ(Ra)5nm以下、反射率100%、グレーディング幅350mmを実現することを目的とする。また、接触検知や表面創成のために各種センサーによるナノレベルの制御を可能とし、IoT化により半自動化を実現する。さらに、ナノレベルの挙動変化検出のため、ナノ粒子複合切削液と供給システムを開発する

・ダイヤモンド工具専用のナノ粒子複合切削液の開発
・ナノ粒子複合切削液のファインバブル(FB)供給システムの開発
・工具接触検知システム、工具位置検出システムの開発
・ダイヤモンド切削専用加工機の開発(リニアモータ駆動、油静圧軸受、各種センサー制御)

新規開拓となるため、展示会などで宣伝活動中である。

開発したグレーティングマスターは半導体露光装置の光源の狭線化モジュールに用いられ、高精度な半導体製造に貢献する。また、開発した専用加工機とナノ粒子複合切削液は、他の高精度光学部品の製造にも応用可能である。

事業化計画として、グレーティングマスターの販売とダイヤモンド工具専用切削液の販売を予定している。グレーティングマスターは幅60mmから順次販売開始予定で、さらにそのマスターからのレプリカ製造・販売も検討中である。ダイヤモンド工具専用切削液は、次年度も共同研究体制を検討し、品質確認後に販売を目指す。

開発したグレーティングマスターは幅60mmで反射率107%を達成しており、半導体露光装置の高精度化に貢献できる。また、開発中の専用加工機は350mm以上の加工面積を有し、ナノ粒子複合切削液や各種センサー制御により、高精度かつ効率的な加工を実現する。

グレーティングマスターは幅60mmから順次販売開始予定であり、既存の超精密加工機で月産数個の製造体制を整える。開発中の専用加工機の精度が実証されれば、専用機を増産し量産体制を構築する計画である。ダイヤモンド工具専用切削液は、品質確認後に販売を目指す。

グレーティングマスターの製作には加工時間が膨大になるため、量産には加工機の台数増加で対応せざるを得ない。また、専用加工機の完成には更なる精度向上が必要であり、350mm以上の製品製作のためには資金調達が課題となる。