研究開発された技術紹介

近年、各産業分野において、検査ラインの自動化が進み、X線非破壊検査装置の需要が増加している。X線非破壊検査装置は、「小型化」および「高出力(高電圧)によるX線透過力向上」が求められている。この相反するニーズの実現に向けて、弊社の保有しているメタライジング技術を高度化して、セラミックスと金属を高気密に接合したX線管の電気的特性を大幅に改善し、X線管のコンパクト化を実現する。

・X線管の電気絶縁性の向上
-3本ロール法による金属粉末の微細化処理
-アルゴン雰囲気中での熱処理反応制御

・電極とアルミナセラミックスの接合強度向上
-3本ロール：金属粉末の微細化処理
-スパッタリング：メタライズ層における各金属成分の成膜時間制御

・X線管の生産性向上
-雰囲気炉内の均熱性制御のための多段治具設計

・X線管の電気絶縁性の向上
-メタライズのぬれ拡がりの幅および真円度の規格値を達成。
-電極間のアルミナセラミックスの沿面耐電圧の規格値を達成。

・電極とアルミナセラミックスの接合強度向上
-3本ロール：量産化に向けた接合曲げ強度の規格値を達成。
-スパッタリング：従来品と比較して薄膜化及び接合曲げ強度の規格値を達成。

・X線管の生産性向上
-雰囲気炉内の位置によらず、メタライズのぬれ拡がりは規格値をクリアし、量産化の目途が立った。

・鉄道や自動車の電子部品、ロボットなどの小型電子部品への検査技術
・X線CTやマンモグラフィーなどの医療分野
・アルミナセラミックスに限らずベリリウム窓などへの応用
・高電圧製品への応用

5社程度へのサンプル出荷を想定している。新規販売及び消耗品としてもリピート販売も見込んでおり、事業化の実現性は極めて高い。X線管(用セラミックス管)の小型化を実現し国際的な競争力の向上を目指す。

・川下企業の品質目標値である気密性と漏れ電流値の規格をクリア
・電極間のアルミナセラミックスの沿面耐電圧の規格値を達成
・量産化に向けた接合曲げ強度の規格値を達成

X線管(用セラミックス管)のアルミナセラミックスと電極のメタライズの制御技術確立により量産化の目途がたった。X線管(用セラミックス管)は新規販売品のみならず消耗品としてのリピート発注も見込んでいる。

スパッタリング処理の層構成におけるばらつき制御・引き続きメタライズ層形成に向けた技術開発が必要。