研究開発された技術紹介

現状の超音波検査技術は、(1)複雑形状物体の検査が難しい、(2)検査に時間がかかる、(3)欠陥検出精度が悪い、等の問題点を有している。これらの問題を一挙に解決する検査技術として、当該事業では、レーザ超音波走査－レーザ受信法によって高周波超音波の動画映像をその場でほぼリアルタイムに計測・解析し、電子部品・デバイスに内在する微細な形状欠陥を高速検査できる革新的レーザ超音波検査システムを開発する

電子部品・デバイス等に内在する異物やボイド、界面接着不良などをその場で効率的に検査できる革新的レーザー超音波検査装置を開発する
(新技術)
小型で任意構造の電子部品に内在する微小欠陥をその場で迅速・簡便、かつ高精度に検査できる新技術を装置に導入する
(新技術の特徴)
・大気中におけるその場・非接触での検査が可能になり、検査に要する労力を削減できる
・3次元複雑形状試験体の欠陥位置を1mm以下の誤差で標定することができ、製品への不良品の混入をより抑えられる

・高感度・高分解能な非接触検査システムの構築
‐現行の超音波Cスキャン装置の1/2以下のサイズの検査装置を開発した
‐20ミクロンの検出性能を達成した
・高速計測・制御ソフトウェアの開発
‐30秒以内に計測条件を設定できる装置等を開発した
・欠陥を自動検知できる画像解析ソフトウェアの開発
‐欠陥エコーを逆流れ解析して3次元複雑形状試験体の欠陥位置を1mm以下の誤差で標定する機能や、欠陥を自動認識する機能等を付与した
・検査条件を自動設定するためのデータベースの構築

・大気中においてその場で電子部品・デバイス等に内在する異物等の非破壊検査が行える、高感度・高分解能な非接触検査装置
・欠陥を高精度に自動検知できる画像解析ソフトウェア
・検査にかかる時間を短縮させた、高速計測・制御ソフトウェア

・実用化に成功した状況である
・性能的な面では順調に研究開発を進められたが、性能以外の、利便性や迅速性、現場環境への適応性などについてはこれからが勝負だと考えている
・独自の技術であるレーザー超音波可視化探傷技術を確立することができた
・サンプル依頼試験が多数寄せられている中で検査実績を積み上げている。

・非破壊検査の迅速・簡便な実施による、検査に要する時間と労力の削減で、欠陥検出プロセスにおける生産性の向上に貢献
‐現行の超音波Cスキャン装置に比べサイズを1/2以下、欠陥の検出性能を数十倍にした装置を開発した
‐従来は水浸が必要であった非破壊検査を、大気中で迅速かつ簡単に行うことができる
・欠陥検出精度の向上により製品の品質の担保が可能になり、コストの削減へと寄与
‐3次元複雑形状試験体の欠陥位置を標定する機能、欠陥を1mm以下の精度でサイジングする機能、欠陥を自動認識する機能等を持つソフトウェアを開発した
‐従来困難であった、複雑形状部における欠陥検出を、高精度で行うことができることにより、交換コスト・返品コストを削減できる
・検査の高速化・自動化により、コストの削減へと寄与
‐現行の超音波Cスキャン装置に比べ、約20倍の速さでの検査が可能になり、検査時間の節約につながる
‐計測条件を30秒以内に自動で設定できるようになったため、専門のオペレーターの立ち会いが不要になる
‐検査に要する時間と人的資源の削減で、生産性の向上に貢献する

・現場ユーザの声に耳を傾け、是非欲しいと思われる商品、使って喜ばれる商品の開発を目指して努力していく予定である
・レーザーは年々性能が向上しており、数年後にはミクロンオーダの微視的欠陥を検出できる装置の開発も夢ではない
・電子デバイスの検査に限らず、幅広い分野で利用できる検査装置の開発を目指す
・レーザー超音波可視化探傷技術はオンリーワン技術であり、今後も世界をリードしていきたい

・装置のローコスト化：検査対象物の検査にかける費用に関して費用対効果を高める必要がある