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材料製造プロセス

大口径・高品質SiC単結晶成長のための新規周波数可変型マルチ高周波誘導加熱炉の開発!

広島県

ヤマコー株式会社

2020年3月23日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 大口径・高品質SiC単結晶成長のための新規周波数可変型マルチ高周波誘導加熱炉の開発
基盤技術分野 材料製造プロセス
事業化状況 研究実施中
事業実施年度 令和1年度~

プロジェクトの詳細

事業概要

大電力を低消費電力で制御するSiCパワーデバイスは、電力の効率化・最適化をしたスマート社会に必須の素子である。基材となる4H-SiC単結晶ウェハの供給メーカが国内にないため、海外に本分野の主導権を取られる恐れが高い。欠陥の少ない高品質で安価なウェハを国内で生産、安定に供給することを目標とし、成長結晶周りの熱マネジメントが容易な新規誘導加熱方式の単結晶製造装置およびウエハを開発する

実用化・事業化の状況

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 ヤマコー株式会社
事業管理機関 一般財団法人ファインセラミックスセンター

サポイン事業者 企業情報

企業名 ヤマコー株式会社(法人番号:5240001015142)
本社所在地 広島県