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材料製造プロセス

β型酸化ガリウム単結晶基板の低コスト量産技術開発!

埼玉県

株式会社ノベルクリスタルテクノロジー

2022年1月28日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 β型酸化ガリウム単結晶基板の低コスト量産技術開発
基盤技術分野 材料製造プロセス
事業化状況 事業化に成功
事業実施年度 平成28年度~

プロジェクトの詳細

事業概要

β型酸化ガリウムは次世代低コスト低損失超高耐圧素子材料として期待されている。従来の成長法では高価なイリジウム坩堝が不可欠で低コスト化に限界があった。この解決法として坩堝を用いずに大型基板の製造が可能と期待される坩堝レス育成法によるφ100mmのβ型酸化ガリウム単結晶基板の成長技術を開発し、融液成長法の低コスト性のメリットを最大限に活かした基板の量産技術を確立させる

実用化・事業化の状況

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 株式会社ノベルクリスタルテクノロジー
事業管理機関 株式会社タムラ製作所

サポイン事業者 企業情報

企業名 株式会社ノベルクリスタルテクノロジー(法人番号:5030001109246)
本社所在地 埼玉県