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接合・実装

直接接合法による高密度先端実装デバイス用一括自動接合技術の開発!

兵庫県

アユミ工業株式会社

2020年3月23日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 直接接合法による高密度先端実装デバイス用一括自動接合技術の開発
基盤技術分野 接合・実装
事業化状況 研究実施中
事業実施年度 令和1年度~

プロジェクトの詳細

事業概要

接着剤等を利用せず低温で高密度、高機能先端デバイス用のウエハを接合することができるウエハ同士の直接接合は産業界では広く高いニーズがあり、生産効率の大幅なアップが望まれている。直接接合法の一つであるPAB法のプロセス改善(in-situ水付加定量化制御技術の開発)を行い、接合強度向上と処理時間を1/10の短縮、生産効率の向上を目的とした一括自動接合技術を開発する

実用化・事業化の状況

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 アユミ工業株式会社
事業管理機関 アユミ工業株式会社

サポイン事業者 企業情報

企業名 アユミ工業株式会社(法人番号:4140001057658)
本社所在地 兵庫県