接合・実装
プラズマ処理による直接接合を一括管理。高信頼・高効率な生産性を実現。
兵庫県
アユミ工業株式会社
2023年2月14日更新
プロジェクトの基本情報
| プロジェクト名 | 直接接合法による高密度先端実装デバイス用一括自動接合技術の開発 |
|---|---|
| 基盤技術分野 | 接合・実装 |
| 対象となる産業分野 | 航空・宇宙、自動車、情報通信、半導体、エレクトロニクス |
| 産業分野でのニーズ対応 | 高機能化（新たな機能の付与・追加）、高性能化（既存機能の性能向上）、高性能化（信頼性・安全性向上）、高効率化（同じ生産量に対するリソースの削減）、高効率化（工程短縮） |
| キーワード | ウエハ接合、一括制御 |
| 事業化状況 | 実用化に成功し事業化に向けて取り組み中 |
| 事業実施年度 | 令和1年度～令和3年度 |
プロジェクトの詳細
事業概要
接着剤等を利用せず低温で高密度、高機能先端デバイス用のウエハを接合することができるウエハ同士の直接接合は産業界では広く高いニーズがあり、生産効率の大幅なアップが望まれている。直接接合法の一つであるPAB法のプロセス改善を行い、接合強度向上と処理時間を1/10の短縮、生産効率の向上を目的とした一括自動接合技術を開発する。
開発した技術のポイント
・プロセス定量化技術の開発
-プラズマ処理条件の最適化
-一括自動接合装置を用い水分導入方法を確立し最適化
・一括自動接合装置の開発
-大気暴露することなく接合可能な装置設計
具体的な成果
・直接接合の品質改善
-自動管理されたプロセス制御により、ウエハの接合品質アップを実現。
-最適なプラズマ処理、水分付加による接合強度アップ未接合エリア(ボイド)の削減(ボイドレス接合)
・生産効率の改善
-加熱工程の短縮が可能なため、タクト時間の短縮(従来比1/2)
-大口径(8,12インチウエハ)対応
研究開発成果の利用シーン
・PAB法によるウエハの直接接合
実用化・事業化の状況
事業化状況の詳細
各種接合評価サンプルを川下メーカーに提供中。川下企業との協力関係を持続しながら装置販売を模索する。
提携可能な製品・サービス内容
製品製造
製品・サービスのPRポイント
・PAB法によるウエハ同士の直接接合において、接合強度の向上と処理時間の短縮を実現
-接合強度は従来比1.5倍に向上
-処理時間は従来比1/10に短縮(従来数十時間から30分程度へ短縮)
-12インチウェハの処理も可能
・「半導体・デジタル産業戦略」への貢献
12インチウエハの接合プロセスを実現し「半導体・デジタル産業戦略」へ記載されている半導体製造技術(半導体製造ラインは12インチ)及び生産能力の確保にも寄与できる
今後の実用化・事業化の見通し
各種接合評価サンプルを川下メーカーに提供中。川下企業との協力関係を持続しながら装置販売を模索する。また12インチウエハの接合プロセスを実現し「半導体・デジタル産業戦略」に記載されている半導体製造技術(半導体製造ラインは12インチ)及び生産能力の確保にも寄与していく。
実用化・事業化にあたっての課題
接合装置・プロセスの改良の実施とともにさらなる高精度アライメント機構開発が求められる。また、接合強度が不足している材料ウエハの組み合わせも存在しており、これら新しいい材料の直接接合における強度の向上が課題である。
プロジェクトの実施体制
| 主たる研究等実施機関 | アユミ工業株式会社 |
|---|---|
| 事業管理機関 | アユミ工業株式会社 |
| 研究等実施機関 | 国立大学法人東京大学 |
主たる研究等実施機関 企業情報
| 企業名 | アユミ工業株式会社（法人番号：4140001057658） |
|---|---|
| 事業内容 | 真空工業の関する機会設備。半導体製造装置及び付属部品の製造販売、関連エンジニアリング。 |
| 社員数 | 50 名 |
| 生産拠点 | 本社工場（兵庫県姫路市） 出雲工場（島根県出雲市） |
| 本社所在地 | 〒671-0225 兵庫県姫路市別所町家具町60 |
| ホームページ | http://www.ayumi-ind.co.jp/ |
| 連絡先窓口 | アユミ工業株式会社 技術部開発課 小田 |
| 電話番号 | 079-253-2771 |
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