研究開発された技術紹介

ステンレス材料の代替として、今後積極的な活用が期待されている高透磁率材料(パーマロイ)を用いて大型超高真空容器を製作する過程において、加工時間の短縮(補修・作り直しを含む)を達成させることによりコスト削減を達成する為の新たな製造技術を開発する

　パーマロイ大型超高真空容器としてスウェーデンのMBScientific社向けに半球型超高真空容器A-1アナライザーを輸出しており、これ迄に総数25台程度出荷している。また、これ以外にも低エネルギー荷電粒子研究ユーザーへ従来のステンレス製超高真空容器からの置き換えを働きかけており、好評を博している。これ迄にパーマロイを用いた設計・製作した円筒型や釣鐘型の真空容器を、大学・研究機関向けに総数20台程度出荷している。

3mm材を用いた磁気シールド超高真空容器により、従来品と比較し高性能・低コスト化を実現
・従来のパーマロイ材より厚い3mmのパーマロイ材をを用いたシールド容器により、遙かにシールド効果の高い超高真空容器の提供が可能である
・絞り/溶接/熱処理工程に於ける割れに起因する歩留まりの向上により、安定した安価な超高真空容器の供給を実現した
納品後の保証
・出荷・設置後の超高真空容器は周辺に強力な電磁石等がある環境で運用されることが多いが、ピンポイントで消磁を実施できるため運用中での着磁に現場での対応が可能である
残留磁束密度/シールド効果測定により、残留磁束密度/容器内真空の質を保証
・容器内の残留磁束密度の強度と分布を測定しピンポイントで消磁するシステムを開発したことで、残留磁束密度を保証した製品の供給が可能である
・Heリーク試験に加えて超高真空容器内の残留ガス分析装置を使って、容器内の真空の質を保証した製品の出荷が可能である

・今後継続して研究に取り組むことでサンプル数を増やし、歩留まり等、統計的な結果を入手したい
・本研究開発では特定の材料メーカーのパーマロイ材を用いており、今後は材料の調達先を広げ、どのメーカーの材料に対しても同様の結果が得られることを検証する
・川下ユーザーである光電子分光装置メーカーへ、パーマロイ製大型超高真空容器のサンプル供給を行い、ユーザー試験を実施し、早期事業化を図る

本格的な事業展開をするには、大型クリーンルーム（クラス１０００以下）が必要となり、その資金増資が大きな課題となる。

上記大型クリーンルームを既に持っている企業様とのコラボレーションを希望している。