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表面処理

コールドスプレー法により、液晶製造装置フィルムロールの高性能化、長寿命化を実現

滋賀県

株式会社シンコーメタリコン

2020年3月19日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 液晶製造装置へのWCサーメット溶射の研究開発
基盤技術分野 表面処理
対象となる産業分野 産業機械、半導体、光学機器
産業分野でのニーズ対応 高性能化(既存機能の性能向上)、高性能化(耐久性向上)、高性能化(精度向上)、高効率化(生産性増加)、環境配慮、低コスト化
キーワード コールドスプレー、高温高圧型
事業化状況 事業化に成功し継続的な取引が続いている
事業実施年度 平成21年度~平成21年度

プロジェクトの詳細

事業概要

導体・液晶製造装置用フィルムロールの製品性能の向上・長寿命化を目的として皮膜の平滑性及び耐摩耗性の向上が川下製造業者からの強いニーズとなっている。本件は、従来よりも低温高速仕様の新しい溶射法であるコールドスプレー法を用い、皮膜表面の平滑性に優れる緻密で、且つ、高硬度な(耐摩耗性)皮膜を形成させる表面改質技術を研究開発を行なった。

開発した技術のポイント
液晶製造装置-(溶射皮膜サンプル写真)

本件では、コールドスプレー法を用いて、更に「高温高圧型」に適合した溶射材料を開発し、従来までの溶射法では得られなかった溶射皮膜の形成を行ないました。更にその後も、補完研究を継続し行なっており、現在は、「熱による材料の特性変化が少ない」等の従来までの溶射法とは異なる、このコールドスプレー法特有の技術を用いた溶射皮膜の活用を進めています。(添付写真は、銅材料を約15mmの厚さに溶射したものです。)

具体的な成果

本件ではコールドスプレー法を用いて、製品性能(表面平滑性)、長寿命化(耐摩耗性)を同時に向上しました。

研究開発成果の利用シーン
液晶製造装置-(コールドスプレー装置)

このコールドスプレー法は、従来までの溶射法とは異なり、各種金属やWCサーメット材料を用い、酸化・変質を抑制した皮膜形成が可能です。更に成膜効率が非常に高いため、高価な粉末材料を溶射材料として使用される案件も多く頂いています。

実用化・事業化の状況

事業化状況の詳細
液晶製造装置-(液晶製造装置のイメージ)

半導体・液晶製造装置用フィルムロール分野においては、H23年度に実用化に成功し、事業化へ取り組み中である。更に適用分野が拡大し、航空・宇宙や自動車分野へのにおいても事業化に成功しており、現在は、この航空・宇宙や自動車分野の高い付加価値を要求される用途にて、多くの引き合いを頂いています。

提携可能な製品・サービス内容

加工・組立・処理

製品・サービスのPRポイント

本件のコールドスプレー法にて形成される皮膜は、従来までの溶射法とは異なり、材料粒子を溶融させることなく皮膜形成し、「材料本来が持つ特性に極めて近い皮膜」の形成が可能となります。例えば、半導体分野においては、酸化・変態が抑制されるので、銅溶射材料の電気特性を活かしたアプリケーションとして精密機械製品への展開が期待されており、同様に他の様々な分野からも注目されています。その他にも、このコールドスプレー法は、「ち密な皮膜が形成可能」・「密度、熱及び電気伝導率が高い」・「圧縮性残留応力の皮膜で厚膜が可能」・「高い成膜効率により厚膜が可能」・「ヒュームの発生がない」等の特徴を有しており、従来までの溶射法とは異なる溶射皮膜の形成が可能です。

今後の実用化・事業化の見通し
液晶製造装置-(今後の事業化への見通し)

一般に、通常の溶射法よりも比較的コストが高くなる傾向にあり、コスト低減化を進めています。現在は、更に他の分野への実用化及び事業化を実現するため、販路開拓を行なっており、本研究開発成果を多くの川下製造業者が訪れる「高機能セラミックス展」や「粉体工業展」等の展示会に出展し、本研究開発成果のPRを行なっています。

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 株式会社シンコーメタリコン
事業管理機関 公益財団法人滋賀県産業支援プラザ
研究等実施機関 株式会社シンコーメタリコン

サポイン事業者 企業情報

企業名 株式会社シンコーメタリコン(法人番号:2160001004908)
事業内容 各種金属及びセラミック、サーメットの溶射技術開発及び施工
社員数 87 名
生産拠点 滋賀県
本社所在地 〒520-3222 滋賀県湖南市吉永405
ホームページ http://www.shinco-metalicon.co.jp
連絡先窓口 技術部技術課 大窄正
メールアドレス oosako@shinco-metalicon.co.jp
電話番号 0748-72-3311