表面処理
高性能コーティング膜スパッタ装置
愛知県
株式会社広島
2021年2月19日更新
プロジェクトの基本情報
| プロジェクト名 | 車載センサー向け高性能コーティング膜製造用スパッタ装置の開発 |
|---|---|
| 基盤技術分野 | 表面処理 |
| 対象となる産業分野 | 医療・健康・介護、自動車 |
| 産業分野でのニーズ対応 | 高性能化（既存機能の性能向上）、高性能化（耐久性向上） |
| キーワード | DLC、HiPIMS、炭素 |
| 事業化状況 | 実用化に成功し事業化に向けて取り組み中 |
| 事業実施年度 | 平成27年度～平成29年度 |
プロジェクトの詳細
事業概要
我が国の自動車産業が世界市場で勝ち残るためには、安全性の向上として衝突防止機能や自動運転化が求められる。そこで用いられる車内外に設置されるカメラなどのセンシング部品には表面コーティングが施されている。現状のコーティング技術では品質とコストを両立できず、実用化が困難なので、本事業では高品質、高耐久でありながら量産性に優れたコーティング膜を提供するため、最新技術を取り入れたスパッタ装置を開発する
開発した技術のポイント
プラズマ制御法やHiPIMS電源を搭載した装置構成について研究開発を行って、自動車産業界のニーズを満たすスパッタ装置を開発し、高品質な光学薄膜を低コストで提供すること
(新技術)
・HiPIMS電源スパッタ装置によるスパッタリング
・HiPIMS電源による反射防止膜の成膜
(新技術のポイント)
膜の密着性、緻密性、硬さ、において優れている
具体的な成果
・膜の硬さ1.5GPa
・プラズマ密度10倍
・成膜速度4倍
・必要範囲の反射率1%以下
・真空度10-4Paの到達
・水素フリー高硬度DLC薄膜形成
・HiPIMS炭素スパッタ開発
研究開発成果の利用シーン
車載カメラのレンズやカバー
実用化・事業化の状況
事業化状況の詳細
HiPIMSにより硬質なDLC成膜が完成しｻﾝﾌﾟﾙを提供
提携可能な製品・サービス内容
素材・部品製造、共同研究・共同開発、技術ライセンス
製品・サービスのPRポイント
・本製品の表面に成膜された金属酸化膜は、プラズマ密度10倍や反射率1%以下などの事業目標を達成していることが確認できた
・DLC薄膜形成においては、成膜材料の分析評価によりDLC特性を確認できた
今後の実用化・事業化の見通し
DLC薄膜の特徴である硬さ潤滑性の特性と分析評価結果を関連付け、プロセス条件との相関を把握し、ユーザーニーズに応えられるかどうかで事業化の見通しは変わってくる
実用化・事業化にあたっての課題
宣伝と営業活動
プロジェクトの実施体制
| 主たる研究等実施機関 | 株式会社広島 |
|---|---|
| 事業管理機関 | 公益財団法人科学技術交流財団 |
| 研究等実施機関 | 株式会社ニデック 株式会社ペガサスソフトウェア 名古屋市工業研究所 |
参考情報
主たる研究等実施機関 企業情報
| 企業名 | 株式会社広島（法人番号：2180001015374） |
|---|---|
| 事業内容 | 生産設備(溶着、搬送、供給、検査装置)試験装置/評価装置(耐久試験、環境試験、熱交換器評価、各種評価/実験装置)、産学連携/研究開発(水素関連事業、HIPIMSスパッタ事業) |
| 社員数 | 45 名 |
| 本社所在地 | 〒459-8001 愛知県名古屋市緑区大高町字寅新田41番 |
| ホームページ | http://hiroshima-web.com/ |
| 連絡先窓口 | 代表取締役 國枝洋尚 |
| メールアドレス | hirotaka_kunieda@hiroshima-web.com |
| 電話番号 | 052-629-0020 |
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