研究開発された技術紹介

自動車分野の精密機構部品は0.1μM以下の精密加工へと進展し、エネルギー効率・高剛性などの市場要求に答える必要がある。この加工精度の歩留まり向上には、さらに1桁高精度な0.01～0.05μｍの測定機器が要求される。提案する3D光プローブ式内面測定機は回転部品の内径や深穴内面等の要求精度での計測に対して光干渉方式による計測と、石英パイプを基準にした精度補正機能と校正機能を取り込むことで精度改善を追求しニーズに対応する

(概容）
「内周面非接触3D精密測定機の開発」
(新技術)
・外径φ0.9mmの薄肉石英パイプ内に近赤外光の回転光学系を内蔵し、外径φ1mmの小径穴からの3D非接触測定が可能(図1）
・新開発の「石英製透明パイプ基準測定方式」は、石英製測定マスターと被測定物の内周面との距離を光干渉によりナノメートル精度で高精度に測定するものであり、精度、再現性、耐環境性に有利
(新技術のポイント）
・機械の振れや振動、光学系の原点のゆらぎが完全に排除できる本開発の石英パイプ基準の新測定方式により、内周面測定を0.02μm(σ)以下の繰返し精度で達成
・φ1～φ100mm内径の全自動測定を達成

・「内周面非接触3D精密測定機」の開発に成功し販売、納入が開始できた
‐φ0.9mmモータを先端に内蔵した細径光走査プローブの開発に成功しφ1ｍｍ内径の3D測定が可能になった
・透光性石英パイプ基準式内周面精密測定方式による高精度測定の技術確立により、0.02μm(σ)以下の繰返し精度を達成した
・高精度内周面精密測定機、ハンディー機等の品揃えを完了した。

・国内外で複数件の特許取得完了

・自動車の低燃費化に係る、エンジンシリンダ、焼結製バルボガイド、噴射ノズル、クランク軸穴、等の非接触高速高精度測定用途
・ハードディスクやレーザプリンタ用モータなど精密情報機器に内蔵される焼結軸受、動圧軸受等小型精密機械部品向け高精度測定用途
・卓上型精密測定機、製造現場用インライン型測定機、大型製造設備用セパレート型測定ユニットを品揃えしており各シーンでの適用が可能

・2018年4月に試験発売を開始すると共に、自動車業界、焼結軸受業界、動圧軸受業界、産業用小型ロボット業界に技術紹介を開始した。
・2019年12月までに上記4業界についてはそれぞれ、既に販売および納入実績有り。

・生産体制、サポート体制の社内構築