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製造環境

高温下における長期間の稼働に耐えられる真空ロボットで、搬送装置販売における顧客ニーズへの迅速な対応に貢献!

香川県

株式会社レクザム

2020年4月11日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 半導体製造プロセスにおける高真空・高温条件下での高度な耐熱特性を有する真空ロボットの開発
基盤技術分野 製造環境
対象となる産業分野 半導体
産業分野でのニーズ対応 高性能化(既存機能の性能向上)、高性能化(耐久性向上)、高性能化(信頼性・安全性向上)、高効率化(同じ生産量に対するリソースの削減)、高効率化(生産性増加)
キーワード 真空ロボット、半導体ウエハ搬送、耐熱性向上、高真空、高温
事業化状況 実用化間近
事業実施年度 平成24年度~平成26年度

プロジェクトの詳細

事業概要

半導体プロセスは高真空かつ高温という非常に過酷な環境下で行われるのが特徴で、複数のプロセス装置を効率的に稼動させる為には、半導体ウエハを搬入出する役割を担う真空ロボットの性能が非常に重要となり、ロボットの耐熱性を向上させることで得られるプロセスの安定した稼動は、生産性向上に大きく貢献する。今般、プロセスをより効率的に稼動させることで生産性の向上を図る為に、ロボットの耐熱性向上の技術を確立する

開発した技術のポイント

高真空かつ高温の条件下で安定稼動する耐熱性の高いロボットを実現することで、プロセスのメンテナンスサイクルの延長とプロセスの安定した稼動を実現する
(新技術)
高い耐熱性を有する機構を真空ロボットのベアリングや動力伝達部に適用する
(新技術の特徴)
真空ロボットが高温下において長期間稼働可能になる結果、生産性向上に寄与する

搬送ロボット
具体的な成果

・真空チャンバの研究・開発
-真空チャンバ全体仕様の検討、評価を行った
・真空ロボットの研究・開発
-動力伝達部の耐熱性向上、ロボット内部の温度上昇防止を達成した
・ベアリングの耐熱性向上
-高温対応リテーナ付きベアリングの性能評価を行った
・メンテナンス時間の短縮
-画像処理によるロボット搬送位置補正システムの性能評価を行った

研究開発成果の利用シーン

高温下における長期間の稼働に耐えられる、ウェハ搬送用の高真空ロボット

実用化・事業化の状況

事業化状況の詳細

・真空中での耐熱が要求される様々な次世代半導体処理装置において、非常に有効な技術を蓄積できた
・高度な耐熱特性を有するロボットについて、掲げていた目標をほぼ達成することができた

提携可能な製品・サービス内容

設計・製作、製品製造

製品・サービスのPRポイント

・半導体製造における生産効率向上・安定化に貢献
-耐熱部品によるメンテナンス頻度の削減、位置補正を用いた温度変化による位置ずれ発生頻度の低減が可能になる
-半導体製造における生産効率向上・安定化に貢献する
・装置の買い替えコスト・労働コスト・メンテナンス時間の削減に寄与
-耐熱温度向上により装置寿命が向上したため、装置の買い替えコスト削減に寄与する
-搬送位置補正による経年変化に対する自動補正のため、搬送位置の補正に要していた労働コストとメンテナンス時間の削減に寄与する

今後の実用化・事業化の見通し

・今後も真空ロボットの性能向上への取組みを行うことで、実用化・製品化に向けて引続き研究開発を進めて行く予定である
・独自構造のベアリングは、高真空・高温条件下での耐久性にすぐれているため、真空ロボット以外の特殊用途にも使用可能であり、更に画像処理による搬送位置補正システムは、既存の装置へ設置可能なので、新規顧客の開拓も視野に入れる予定である
・搬送スピードの向上のための軽量化、小型化、搬送制御方法の確立について研究開発を進める

実用化・事業化にあたっての課題

精度バラつきの検証及び更なる小型化

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 株式会社レクザム 香川工場
事業管理機関 公益財団法人かがわ産業支援財団 技術振興部 産学官連携推進課

サポイン事業者 企業情報

企業名 株式会社レクザム(法人番号:7120001092225 )
事業内容 エレクトロニクス応用製品、機械金属製品半導体製造装置などの開発・設計・製造・販売
社員数 1220 名
本社所在地 〒761-1494 香川県高松市香南町池内958
ホームページ http://www.rexxam.co.jp/
連絡先窓口 EソリューションBU技術開発部 松浦和久
メールアドレス matsuura-kazuhisa@rexxam.co.jp
電話番号 087-879-3131(代)