研究開発された技術紹介

本研究は、情報通信の高速大容量化が急速に進みつつある情報通信システムを支えるため、次世代高周波半導体デバイスの高周波特性を唯一絶対的に評価可能となる半導体検査用高性能コンタクトプローブの製品開発及び事業化を目的とする

次世代高周波半導体デバイスに対応可能な40GHzの高周波帯域まで絶対的な高周波特性評価が可能であることに加え、他の電気特性が従来と同等以上の半導体最終検査用高性能コンタクトプローブの開発を行う
(新技術)
半導体検査用高性能コンタクトプローブの研究開発を行う
(新技術の特徴)
次世代高周波半導体デバイスに対応可能な40GHzの高周波帯域まで絶対的な高周波特性評価が可能となる

・高周波対応電鋳浴の開発
・高周波対応電鋳プロセスの開発
・高周波に好適なコンタクトプローブ構造及び試作評価開発
・量産化プロセスの確立

・高周波特性評価が可能な半導体量産検査用高性能コンタクトプローブ
・高性能コンタクトプローブを用いた検査サービス

・高周波(40GHz/-1db)、低抵抗、高密度(狭ピッチ)、高精度、低コストを満足する高性能コンタクトプローブの開発及び量産化プロセス開発に成功した
・研究開発終了後より、実用化・事業化に向けて、展開を行った

・歩留まり向上により、生産の効率化が可能となり、廃棄コスト削減に貢献
-電気特性検査(品質検査)のコンタクトプローブにおいて高周波帯域・低抵抗測定に対応できる量産検査用の製品が無いことから、対応可能な製品の研究開発を行うことで次世代電子部品の電気的検査に寄与する
-次世代高周波半導体デバイスに対応可能な40GHzの高周波帯域まで絶対的に高周波特性評価可能な半導体最終検査用高性能コンタクトプローブを開発した
-高周波帯域の品質検査が可能となり、歩留まりの向上、廃棄コスト削減に貢献が可能である
・コンタクトプローブの用途拡大に貢献
-高周波帯域の電気的量産検査が可能となるため、検査用途の拡大が可能である

・設備・事業体制の更なる体制を構築することにより、新規製品として現行製品との差別化を行い事業化を図る
・現行品市場で市場開拓できていない市場に参入することで、事業化を確実にする
・高周波及び低抵抗の電気的特性検査や高特性部材実装製品に適応できることから、新規市場に参入し、事業化の拡大を図る