研究開発された技術紹介

新たに開発する高精度画像処理ソフトウェアと高解像度光学系を適用することで、欠陥分類の高精度化を実現する。
従来困難であった欠陥の分類、分別が可能となるため目視検査の自動化が進む。これにより検査品質の向上、競合とのコスト競争力向上を実現する。本研究技術を使用し、液晶表示用ガラス欠陥検査装置市場へ参入する。また技術を応用してフィルムシート加工、レンズ加工などの他市場への参入も目指す。

新たに開発する高解像度光学系と新手法を用いた高精度画像処理システム技術の適用により、従来困難であった欠陥の分類、分別の自動化を可能とする液晶表示用ガラス欠陥検査装置の実現。カメラ台数を増やさずに高解像度な画像取得を行う光学系を新規開発した。
(新技術の特徴)
・キズ幅最小10μm以下の欠陥検出および欠陥の表裏判別が可能
・液晶用ガラス基板の不良品誤検出率0.1%以下

・高解像度光学系の開発
‐ガラス欠陥検出に最適な光学系の仕様を見出した
‐4光路切り替え可能な光学ユニットの開発を行った
‐キズ幅最小10μm以下の欠陥検出および欠陥の表裏判別可能な検査装置を開発した
・液晶表示用ガラス欠陥検査装置の開発
‐欠陥の特徴抽出手法を確立し、欠陥分類システムを開発した
‐カメラ画像のずれ量計測システムを開発した
‐欠陥の検出システムを開発した

液晶表示用ガラス基板の欠陥を検出して自動分類、分別する液晶表示用ガラス欠陥検査装置

欠陥検査装置の市場導入段階で、国内液晶メーカーの事業再編・撤退などにより、対象とする液晶表示パネル向け欠陥検査装置の導入・販売が困難になった。一方、検査装置を組立・販売する予定だった共同研究機関の事業撤退により、欠陥検査装置でのビジネス展開を中止せざるを得なくなった。

・液晶表示用ガラス基板の欠陥検査を自動化することにより、検査労務費を削減
‐検査が自動化されることにより、従来かかっていた人件費などの検査労務費が削減可能になった
・不良品誤判定率0.1%により、後工程の歩留り向上が可能に
‐欠陥の特徴抽出と学習機能によって、欠陥種類判定を高い精度で分類可能になった
・検査装置の低価格化を実現
‐高速で4光路を切り替え可能な光学系の開発によって、カメラ台数を増やさずに高解像度な画像が取得可能になった

本事業で蓄積した画像処理技術を使った欠陥判別・検証技術をベースに、AIなどの最先端の技術も取り入れて、新たな事業分野で応用製品の実現を目指す。