研究開発された技術紹介

太陽電地、大型平板ディスプレイ、LED、半導体等の製造に関する超高生産性化、省エネ化、低コスト化等の課題を排気プロセスの面で解決する革新的な新型真空ポンプ、不等リード不等傾斜角スクリューブースターポンプの実用化を実現することにより、各種製造装置の消費エネルギーの50%以上が削減され、また各製造装置のプロセス圧力領域で初めて排気能力を持つポンプの開発により超高生産性化が実現される

広い圧力領域で良好な排気特性を持った新型真空ポンプを開発することを目的として、分子流域から粘性流域まで、分子量の小さい水素ガスから分子量の大きなガスまで安定した排気速度を維持し、省エネ、小フットプリントを実現する
(新技術)
・水素などの低分子に関しても排気速度の劣化がない
・希釈ガスが極めて少なく、プロセスガスの回収が容易である
(新技術の特徴)
運転上の性能や排気系運転エネルギーの削減だけではなく、製造コストの削減との両立が可能になる

・スクリューローターの高精度・高速加工技術の開発
‐スクリューローター切削加工の高精度・高速加工技術の開発において、重要な要素となる専用工作機械を開発した
・高精度、高剛性軸受の開発
‐運転速度における回転振れを極めて小さくすることができ、高いポンプ性能を実現した
・ベアリング部オイル供給機構の開発
‐800cc/min以上の安定したオイル供給を実現した
・ポンプ内接ガス部の腐食対策コーティング開発
‐腐食ガスによる腐食を防ぐコーティングを開発し、良好な効果を得た
・20,000L/min型不等リード不等傾斜角スクリューブースターポンプの性能試験

特許5892569 スクリュー真空ポンプ
特許6155423 スクリュー真空ポンプ
特許5582253 ガス排気用ポンプの回転機構およびその製造方法、並びにその回転機構を備えるガス排気用ポンプ及びその製造方法
特許5540352 スクリューロータ加工方法

・不等リード不等傾斜角スクリューブースターポンプ
・高付加価値な切削加工技術

・基礎研究が終了し、実用化に向けた開発の実施段階である
・20,000L/min型不等リード不等傾斜角スクリューブースターポンプ及び500L/min小型スクリューバックポンプを製作し、性能試験、ランニング試験を開始しており、ポンプ性能はほぼ目標性能を達成した

・性能の向上を図りつつ製造・運転コストを削減したスクリューブースターポンプを提供
‐スクリューローターの高精度・高速切削加工技術の開発を通じて、その専用工作機械を開発したことによって、スクリューブースターポンプの製造期間が短縮され、製造コストの削減が可能になった
‐ポンプの性能と寿命向上のため、スクリューの軽量化や軸受け部の剛性向上等により極めて高精度なスクリュー回転が可能となり、高いポンプ性能を実現するとともに、運転コストの低減を実現し、お客様の生産性向上、省エネ化に貢献する
・高精度、高速切削加工技術を提供
‐スクリューローター切削加工技術開発で培った、高精度、高速5軸切削加工技術の提供が可能になった

・本開発で取り組んだ不等リード不等傾斜角スクリューブースターポンプの事業化に向けて、今後、展示会等を通じて積極的なPRに取り組み、本事業成果であるスクリューブースターポンプの提供を目指す
・本事業で得られた切削加工技術を活用できるスクリュー形状や5軸加工品の受注が拡大していることから、今後さらにこの技術の高度化を進めて関連部品の受注獲得を目指す