研究開発された技術紹介

本研究開発では、フリーフォーム型X線ミラーの製造プロセスを大幅に改善することを目指し、新規の精密加工技術を導入した。新規開発した研磨装置と研磨小予測アルゴリズムを用いることにより、従来10ヶ月を要していた製造リードタイムを3ヶ月に短縮することができた。また、形状修正サイクルも削減することができた。これにより、放射光施設用に最適な急峻で複雑な形状を持つミラーを実現し、X線集光性能においても高い成果を上げた​。

・精密加工技術によるフリーフォーム型X線ミラーの製造方法をについて研磨装置と研磨量予測アルゴリズムの開発を行った。
・形状修正サイクルを削減する新規プロセスの導入をした。
・湾曲形状対応の高速高分解能計測装置の開発を行った。
・製造リードタイムを10ヶ月から3ヶ月に短縮することが可能となった。

・フリーフォーム型X線ミラーの製造リードタイムを3ヶ月に短縮することが可能となりコスタダウンにつながった。
・X線集光性能の実験で、縦横比10:1の性能を実証した。
・新規プロセスにより形状修正工程数を5回に削減し、目標値を達成​　
・この開発により得られたレンズをSpring-8で評価していただき設計通りの高額性能が得られていることが実証できた。

放射光施設に関連する、国内学会、国際学会の場で広報活動を継続的に実施している。
・JSR（日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム）
・XOPT （International Conference on X-ray Optics and Applications）
・SRI（International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation）

本研究の成果は、次世代放射光施設におけるX線顕微観察の分野で利用される。特に、産業分野での高精度観察や創薬、バイオ、医療、素材開発において大きな効果が期待されている。

現在、フリーフォーム型X線ミラーの製造技術が確立され、放射光施設への導入が進行中である。複数の顧客に対して実証試験が行われており、次世代放射光施設における導入が見込まれている。

今後、フリーフォーム型X線ミラーのさらなる性能向上とコスト削減が進められ、国内外の放射光施設への展開が期待されている。技術的な優位性と市場の成長により、実用化の見通しは非常に明るい。

・さらなる製造コストの削減
・フリーフォーム型X線ミラーの性能向上
・他分野への応用拡大

本事業の開発体制を継続実施します。
連携先：東京大学，公益財団法人　高輝度光科学研究センター（SPring-8）, 国立研究開発法人　産業技術総合研究所