研究開発された技術紹介

赤外線を選択的に遮断する省エネ技術としてニーズの高まっている透明断熱シートにおいては、構成が希少金属であるAG合金薄膜とITO薄膜の多層膜で利用されており、低コスト化・高性能化が望まれている。本提案では、AL薄膜とその窒化物であるALN薄膜をナノ積層化することにより、低価格な高性能断熱シートを開発し、ロール状フィルムの連続生産システムにより事業化を図り、住宅や自動車の省エネ化へ大きな貢献を目指す

レアメタルのIN及び希少金属のAgを使用せずに、汎用金属であるAlとその窒化物であるAlNのみによる高性能な透明断熱シートを実現し、連続ロールフィルムでの生産システムを開発する
(新技術)
汎用金属であるAlとその窒化物であるAlNのみによる高性能な透明断熱シートを実現し、連続ロールフィルムでの生産システムを開発する
(新技術の特徴)
低価格・高性能な透明断熱フィルムの供給が可能となる

・All/AlNナノ積層膜の透明断熱性能の向上
・積層膜連続生産システムの開発
-縦型搬送によるRTR成膜装置の開発
-大面積対応N-mHVカソードの開発
-AlN薄膜の高速成膜技術の確立
・連続生産システムでの性能向上と生産技術ノウハウの確立

・汎用金属であるAlとその窒化物であるAlNのみによる高性能な透明断熱シート
・連続ロールフィルムでの生産システム

汎用金属であるAlとその窒化物であるAlNのみによる高性能な透明断熱シートを実現し、それを量産するための連続ロールフィルムでの生産システムを開発した

・透明断熱シートの調達コスト削減に寄与
-レアメタルのIN及び希少金属のAgを使用せずに、汎用金属であるAlとその窒化物であるAlNのみによる高性能な透明断熱シートを開発した
-低価格・高性能な透明断熱フィルムの供給が可能となり、調達コスト削減への寄与が可能である
・室内温度低下により、電気料金削減に貢献するため、様々な用途展開が可能に
-開発した高性能透明断熱シートは、室内温度を3℃低下させることが可能であるため、夏季のピーク電力抑制および電気料金の削減に有効であることから、温度調節にコストがかかる様々な用途に展開できる

・透明断熱エコシートは省エネ対応必須アイテムとなっており、既存の住居用途以外のオフィスビル用途や自動車ガラス用途での需要開拓を進めている
・積層膜用連続スパッタリング成膜システムは透明断熱膜のみならず、各種高機能フィルムの多層膜成膜装置として幅広い需要があり、引き合いも多い