研究開発された技術紹介

高精細・高感度化が進んでいるカメラの特性を生かすために、日中は減光フィルター(以後NDフィルターと称す)(専門用語等の解説－1)と呼ばれるフィルターを併用しているが、現状供給されている物は分光特性が悪く、高価で供給能力も少ない。弊社では新型NDフィルターの開発を行い、特許化に至った。それを量産化するために、世界初の中間酸化膜を制御する成膜法に着目し、複合化も含め実用化に向けて更に開発を行う

スパッタプロセスの厳密制御条件を見出すことにより従来型NDフィルターの安定量産を可能にし、同時にスパッタプロセスによる中間酸化物薄膜作成プロセスを開発して高性能な中間酸化物利用NDフィルターを実現する
(新技術)
スパッタプロセスの厳密制御条件及びスパッタプロセスによる中間酸化物薄膜作成プロセスを開発する

(新技術の特徴)
可視光域での特性が平坦で、耐環境性能が優れる高性能な中間酸化膜によるNDフィルター

・TiOx系プロセス上の問題点抽出、解決
‐不安定なTiOx中間酸化物の安定作成条件を明らかにした
・解決された光学常数からNDフィルターを設計・試作
‐中間酸化膜によるNDフィルターの試作に成功した
・試作品の評価
・NDフィルターとIRカットフィルターを融合させ、新規光学部品を試作
‐ND-IRカットフィルターの試作に成功した
‐環境試験においても光特性に変化無しを実現した

・中間酸化膜によるNDフィルター
・IRカットフィルターを融合したND-IRカットフィルター

・TiOx系プロセス上の問題点抽出、解決
‐不安定なTiOx中間酸化物の安定作成条件を明らかにした
・解決された光学常数からNDフィルターを設計・試作
‐中間酸化膜によるNDフィルターの試作に成功した
・試作品の評価
・NDフィルターとIRカットフィルターを融合させ、新規光学部品を試作
‐ND-IRカットフィルターの試作に成功した
‐環境試験においても光特性に変化無しを実現した

NDフィルターの量産化により、低価格での提供が可能に
・現在市場に供給されているNDフィルターの性能は分光特性の平坦性と耐環境性が不十分である
・スパッタプロセスの厳密制御条件を見出すことにより、金属膜を用いた従来型NDフィルターを高速で成膜し、より安定的に製造が可能となる
高性能NDフィルター及びND-IRフィルターの開発により、撮像機器の性能進化を促進、用途拡大が可能に
・スパッタプロセスによる中間酸化物薄膜作成プロセスを開発し、高性能な中間酸化物利用NDフィルターを開発した
・IRカットフィルターを融合したND-IRカットフィルターの開発に成功したこれにより、撮像機器の性能進化を促し、用途拡大が可能となった(例:監視カメラ部品、カメラ・レンズフィルター等)

本事業で得られた技術を蓄積・踏襲し、以下の製品について量産化に向けた検討を進めていく予定である
・監視カメラ用NDフィルター、NDIRカットフィルター関連
・カメラ・レンズ外付けフィルター
・ムービー用NDフィルター
・医療用撮像機器用NDフィルター等