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表面処理

中間酸化膜を用いたNDフィルター及びND-IRカットフィルターの開発により、用途拡大に貢献!

埼玉県

株式会社タナカ技研

2020年4月7日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 世界初の中間酸化膜による新型NDフィルター及び一体型NDIRカットフィルターの開発
基盤技術分野 表面処理
対象となる産業分野 医療・健康・介護、情報通信、スマート家電、光学機器
事業化状況 実用化間近
事業実施年度 平成24年度~平成26年度

プロジェクトの詳細

事業概要

高精細・高感度化が進んでいるカメラの特性を生かすために、日中は減光フィルター(以後NDフィルターと称す)(専門用語等の解説-1)と呼ばれるフィルターを併用しているが、現状供給されている物は分光特性が悪く、高価で供給能力も少ない。弊社では新型NDフィルターの開発を行い、特許化に至った。それを量産化するために、世界初の中間酸化膜を制御する成膜法に着目し、複合化も含め実用化に向けて更に開発を行う

開発した技術のポイント

スパッタプロセスの厳密制御条件を見出すことにより従来型NDフィルターの安定量産を可能にし、同時にスパッタプロセスによる中間酸化物薄膜作成プロセスを開発して高性能な中間酸化物利用NDフィルターを実現する
(新技術)
スパッタプロセスの厳密制御条件及びスパッタプロセスによる中間酸化物薄膜作成プロセスを開発する

(新技術の特徴)
可視光域での特性が平坦で、耐環境性能が優れる高性能な中間酸化膜によるNDフィルター

具体的な成果

・TiOx系プロセス上の問題点抽出、解決
‐不安定なTiOx中間酸化物の安定作成条件を明らかにした
・解決された光学常数からNDフィルターを設計・試作
‐中間酸化膜によるNDフィルターの試作に成功した
・試作品の評価
・NDフィルターとIRカットフィルターを融合させ、新規光学部品を試作
‐ND-IRカットフィルターの試作に成功した
‐環境試験においても光特性に変化無しを実現した

研究開発成果の利用シーン

・中間酸化膜によるNDフィルター
・IRカットフィルターを融合したND-IRカットフィルター

実用化・事業化の状況

事業化状況の詳細

・TiOx系プロセス上の問題点抽出、解決
‐不安定なTiOx中間酸化物の安定作成条件を明らかにした
・解決された光学常数からNDフィルターを設計・試作
‐中間酸化膜によるNDフィルターの試作に成功した
・試作品の評価
・NDフィルターとIRカットフィルターを融合させ、新規光学部品を試作
‐ND-IRカットフィルターの試作に成功した
‐環境試験においても光特性に変化無しを実現した

製品・サービスのPRポイント

NDフィルターの量産化により、低価格での提供が可能に
・現在市場に供給されているNDフィルターの性能は分光特性の平坦性と耐環境性が不十分である
・スパッタプロセスの厳密制御条件を見出すことにより、金属膜を用いた従来型NDフィルターを高速で成膜し、より安定的に製造が可能となる
高性能NDフィルター及びND-IRフィルターの開発により、撮像機器の性能進化を促進、用途拡大が可能に
・スパッタプロセスによる中間酸化物薄膜作成プロセスを開発し、高性能な中間酸化物利用NDフィルターを開発した
・IRカットフィルターを融合したND-IRカットフィルターの開発に成功したこれにより、撮像機器の性能進化を促し、用途拡大が可能となった(例:監視カメラ部品、カメラ・レンズフィルター等)

今後の実用化・事業化の見通し

本事業で得られた技術を蓄積・踏襲し、以下の製品について量産化に向けた検討を進めていく予定である
・監視カメラ用NDフィルター、NDIRカットフィルター関連
・カメラ・レンズ外付けフィルター
・ムービー用NDフィルター
・医療用撮像機器用NDフィルター等

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 株式会社タナカ技研 みどりが丘工場
事業管理機関 公益財団法人埼玉県産業振興公社
研究等実施機関 国立大学法人宇都宮大学

サポイン事業者 企業情報

企業名 株式会社タナカ技研
事業内容 光学薄膜の設計、成膜、脆性材料精密切断、Assay等
本社所在地 〒368-0101 埼玉県秩父郡小鹿野町下小鹿野1658
ホームページ http://www.tanakagiken.co.jp/
連絡先窓口 八木進
メールアドレス info@tanakagiken.co.jp
電話番号 0494-75-2424