文字サイズ
標準
色の変更

サポイン技術紹介

  1. トップ
  2. サポイン技術検索
  3. システマティック欠陥の検出時間短縮・検出精度向上で、半導体デバイスの生産に必要な時間と労力の節約が可能に!

情報処理

システマティック欠陥の検出時間短縮・検出精度向上で、半導体デバイスの生産に必要な時間と労力の節約が可能に!

神奈川県

TASMIT株式会社

2022年1月28日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 半導体デバイス検査装置に組み込む大容量欠陥データの解析ソフトウェアの開発
基盤技術分野 情報処理
対象となる産業分野 ロボット、半導体
産業分野でのニーズ対応 高機能化(新たな機能の付与・追加)、高効率化(同じ生産量に対するリソースの削減)、低コスト化
キーワード 半導体検査
事業化状況 事業化に成功
事業実施年度 平成23年度~平成25年度

プロジェクトの詳細

事業概要

新規半導体デバイスの早期立ち上げに不可欠な1億個程度のシステマティック欠陥データの人的解析を自動化する大容量データベースを中核とした見える化機能と、人的解析では不可能な高度解析機能を実装した世界初の画期的ソフトウェアを検査装置に組み込み、検査装置の飛躍的普及を図る。この結果、人的解析を1/20以下の時間で自動実施し、1日あたり1億円の機会損失を大幅に削減し、関連製造業者の活性化等に大きく寄与する

開発した技術のポイント

新規半導体デバイスの早期立ち上げに不可欠な1億個程度のシステマティック欠陥データの人的解析を自動化する大容量データベースを中核とした見える化機能と、人的解析では不可能な高度解析機能を実装したソフトウェアを検査装置に組み込む方法を確立させる
(新技術)
大容量欠陥情報データベースを構築し、高度解析機能を実装したソフトウェアとともに検査装置に組み込む
(新技術の特徴)
1億件程度のシステマティック欠陥データの解析を自動化することができるため、機会損出の大幅な削減につながる

具体的な成果

・現状の欠陥データ解析方法の確立
‐効率的なデータベースの構築方法、システマティック欠陥データの解析方法を確立した
・大容量欠陥情報データベース、欠陥データ解析方法の確立機能、レポート作成機能の実装
‐システマティック欠陥データの解析時間を現状の1/20以下にすることを達成した
‐疑似欠陥認識機能の開発‐疑似欠陥の発生を防止する機能を作成し、目標値である疑似欠陥認識率70%以上を達成した

研究開発成果の利用シーン

・人的解析では不可能な、疑似欠陥の認識や欠陥の分類を可能にするソフトウェア
・システマティック欠陥の検出を短時間で行う検査装置

実用化・事業化の状況

事業化状況の詳細

・最先端半導体メーカーほどには半導体デバイス線幅の微細化が進んでいないメーカーとも商談があり、ユーザーの層が厚くなりつつあると認識している
・従来技術には存在しなかった、設計データと連動する大容量システマティック欠陥データの解析ソフトウェアの開発を実現した
・上記のソフトウェアについて、半導体製造メーカーとの協調によりユーザーの意向を十分反映できた

提携可能な製品・サービス内容

製品製造

製品・サービスのPRポイント

データ処理速度の向上、ならびに疑似欠陥認識の自動化と精度向上で、半導体デバイスの欠陥検出に必要な時間や労力が節約され、生産コストの削減に貢献
・大容量欠陥情報データベースなどにより、300万件のデータを、1件あたり37μ秒で処理可能になり、1億件のデータを現行技術の20倍以上の速さで処理するのに必要な1件あたり72μ秒を大幅に上回った
・システマティック欠陥の解析にかかる時間が現在の約1/40近くになり、解析にかかる時間・労働力を節約できるため、生産コストの削減につながる
・半ピッチずれ判定機能など、疑似欠陥の発生を防止する11の機能を持つソフトウェアを作成した
・人的解析では実現不可能であった70%以上の疑似欠陥認識率が実現し、人的コストの削減と歩留りの向上により、生産コストの削減に貢献する

今後の実用化・事業化の見通し

・レシピ調整後の疑似欠陥認識率99%以上の達成、欠陥データ自動解析機能の実装、より高度な解析機能・疑似欠陥認識機能・欠陥分類の実装、の3つの目標を次年度以降に達成する予定である
・来年度は製品サンプルを出荷し、ユーザー仕様を満足させていくことで、販売拡大を目指していく
・アメリカ・ヨーロッパでの販路拡大について、次年度以降の活動で対応することを検討している

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 株式会社NGR
事業管理機関 株式会社NGR
研究等実施機関 株式会社スペック・システム
株式会社プロレイヤ

サポイン事業者 企業情報

企業名 TASMIT株式会社(法人番号:0200-01-092344)
事業内容 半導体検査装置の開発、製造、販売及び保守
社員数 57 名
本社所在地 〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜2-6-23 金子第2ビル
ホームページ https://www.ngr-inc.com/
連絡先窓口 管理部
メールアドレス adm@nanogeometry.com
電話番号 045-507-3330