研究開発された技術紹介

新規半導体デバイスの早期立ち上げに不可欠な1億個程度のシステマティック欠陥データの人的解析を自動化する大容量データベースを中核とした見える化機能と、人的解析では不可能な高度解析機能を実装した世界初の画期的ソフトウェアを検査装置に組み込み、検査装置の飛躍的普及を図る。この結果、人的解析を1／20以下の時間で自動実施し、1日あたり1億円の機会損失を大幅に削減し、関連製造業者の活性化等に大きく寄与する

新規半導体デバイスの早期立ち上げに不可欠な1億個程度のシステマティック欠陥データの人的解析を自動化する大容量データベースを中核とした見える化機能と、人的解析では不可能な高度解析機能を実装したソフトウェアを検査装置に組み込む方法を確立させる
(新技術)
大容量欠陥情報データベースを構築し、高度解析機能を実装したソフトウェアとともに検査装置に組み込む
(新技術の特徴)
1億件程度のシステマティック欠陥データの解析を自動化することができるため、機会損出の大幅な削減につながる

・現状の欠陥データ解析方法の確立
‐効率的なデータベースの構築方法、システマティック欠陥データの解析方法を確立した
・大容量欠陥情報データベース、欠陥データ解析方法の確立機能、レポート作成機能の実装
‐システマティック欠陥データの解析時間を現状の1/20以下にすることを達成した
‐疑似欠陥認識機能の開発‐疑似欠陥の発生を防止する機能を作成し、目標値である疑似欠陥認識率70%以上を達成した

・人的解析では不可能な、疑似欠陥の認識や欠陥の分類を可能にするソフトウェア
・システマティック欠陥の検出を短時間で行う検査装置

・最先端半導体メーカーほどには半導体デバイス線幅の微細化が進んでいないメーカーとも商談があり、ユーザーの層が厚くなりつつあると認識している
・従来技術には存在しなかった、設計データと連動する大容量システマティック欠陥データの解析ソフトウェアの開発を実現した
・上記のソフトウェアについて、半導体製造メーカーとの協調によりユーザーの意向を十分反映できた

データ処理速度の向上、ならびに疑似欠陥認識の自動化と精度向上で、半導体デバイスの欠陥検出に必要な時間や労力が節約され、生産コストの削減に貢献
・大容量欠陥情報データベースなどにより、300万件のデータを、1件あたり37μ秒で処理可能になり、1億件のデータを現行技術の20倍以上の速さで処理するのに必要な1件あたり72μ秒を大幅に上回った
・システマティック欠陥の解析にかかる時間が現在の約1/40近くになり、解析にかかる時間・労働力を節約できるため、生産コストの削減につながる
・半ピッチずれ判定機能など、疑似欠陥の発生を防止する11の機能を持つソフトウェアを作成した
・人的解析では実現不可能であった70%以上の疑似欠陥認識率が実現し、人的コストの削減と歩留りの向上により、生産コストの削減に貢献する

・レシピ調整後の疑似欠陥認識率99%以上の達成、欠陥データ自動解析機能の実装、より高度な解析機能・疑似欠陥認識機能・欠陥分類の実装、の3つの目標を次年度以降に達成する予定である
・来年度は製品サンプルを出荷し、ユーザー仕様を満足させていくことで、販売拡大を目指していく
・アメリカ・ヨーロッパでの販路拡大について、次年度以降の活動で対応することを検討している