国立大学法人島根大学

電力業界ではスマートグリッドの普及に対して、電力品質の安定化が喫緊の課題であり、低インダクタンス機能を有する低コスト・小型抵抗体の開発に対する強いニーズがある。従来の金属抵抗体は長さによる抵抗調整で大型化し、インダクタンスが大きくなる。同時進行する金属粒子扁平化とその表面へのセラミックス粉末均一付着技術及び焼結技術の確立により、体積抵抗率の制御を果たし、ニーズを満たす世界初の抵抗体を開発する。
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メタセラ材料は、複合化する金属粒子の形状と体積率で体積抵抗率が制御できる新規抵抗材料であり、SPS焼結材を用いた小型モデル抵抗器は、従来品と比較して容積1/2、重量1/3、インダクタンス1/20の画期的な特性を示す。このため、業界では本材料の大型抵抗器への適用の要望が強い。本事業ではメタセラ材料のレオロジー特性を利用した新熱間成形加工技術を高度化し、大型部材の製造に適したプロセス技術を開発する。
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半導体・液晶製造装置の長寿命化及び維持管理の軽減を図るため、構成部材の耐久性向上が求められている。ドライエッチング装置やCVD装置においては、耐プラズマ性、耐腐食性に優れた構成部材の開発が重要課題である。本研究では、高周波プラズマ複合溶射法により、耐プラズマ性、耐ガス性に優れた機能性(導電性、誘電性)セラミックス溶射膜を開発し、ドライエッチング装置用部材への適用を目指す
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自動車メーカーはエンジンの高性能化や小型軽量化を達成するために動力伝達部品の高強度化を求めている。浸炭複合加工(浸炭部材のコーティング)処理による疲労強度、耐摩耗性等の向上が期待されているが、これら部品に適用するためには浸炭層の高炭素濃度化を図ると共に皮膜の密着力の向上が必要である。本研究では浸炭複合加工処理を開発し、動力伝達部品の高強度化と共に低コスト化を目的とした量産技術を開発する
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