公立大学法人北九州市立大学

使用済み自動車処理の最終段階で発生するシュレッダーダスト(ASR)には重量比で約30%プラスチックが含まれているが、現状、ほとんど焼却処理(サーマルリサイクル)されている。本技術開発では、世界初となる、ASRから車部品として水平リサイクル可能な高純度プラスチックを回収(マテリアルリサイクル)するシステムを、精密な夾雑物除去と高精度プラスチック成分光学識別の技術開発により構築する
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近年、微細三次元形状を精密に測定するニーズが増加している。例えば、半導体チップの内部を垂直に貫通する電極用微細深穴(直径10μm以下)ではエッチングによる穴加工条件最適化のため、その側壁粗さの測定が要求されている。そこで、直径1μm以下の極小径光ファイバの接触式スタイラスを用いることにより、高アスペクト比の深穴(深溝)を有する微細形状を数nmの分解能で非破壊にて測定可能な装置の開発を目的とする
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外観検査装置などで使用される画像処理用LED照明では、検査精度向上の目的で検査部の高照度化や照度均一化に対する要求が極めて強い。本研究開発では、曲面配線技術を応用して金属曲面に絶縁膜と多層配線パターンを高精度で形成するプロセスを確立し、金属基材に直接LEDを高密度実装させることで放熱性能を向上させた曲面光源を用いた高い信頼性を有する高輝度画像処理用LED照明を開発する
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