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精密加工

これからのEV社会に向けたパワー半導体向け革新的研磨装置の開発!

長野県

不二越機械工業株式会社

2020年3月23日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 これからのEV社会に向けたパワー半導体向け革新的研磨装置の開発
基盤技術分野 精密加工
事業化状況 研究実施中
事業実施年度 令和1年度~

プロジェクトの詳細

事業概要

電気自動車(EV)の普及に向けSiCパワーデバイスの量産化と低コスト化が求められている。本研究では、従来の加工工程に代わり、溶融アルカリエッチングを援用した両面加工では、ひずみの無い平行平面ウェハの生産技術を、電解加工と電界砥粒制御を援用した仕上げ研磨では、高レートかつ高品位なスクラッチフリーウェハの生産技術を確立し、大口径に対応した実用装置を開発することで大幅な生産性向上を実現する

実用化・事業化の状況

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 不二越機械工業株式会社
事業管理機関 公益財団法人長野県テクノ財団

サポイン事業者 企業情報

企業名 不二越機械工業株式会社(法人番号:1100001002967)
本社所在地 長野県