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精密加工

ミニマルマスクレス露光装置で両面アライメント機能実現し、MEMSデバイスの開発・製造に適用可能とする

福岡県

株式会社ピーエムティー

2021年2月19日更新

プロジェクトの基本情報

プロジェクト名 微小立体構造からなるセンサーの試作開発期間短縮と多品種少量生産を可能とする、世界初の両面アライメント機能付きミニマルマスクレス露光装置の研究開発
基盤技術分野 精密加工
対象となる産業分野 医療・健康・介護、航空・宇宙、産業機械、半導体、エレクトロニクス
産業分野でのニーズ対応 高機能化(新たな機能の付与・追加)、高性能化(既存機能の性能向上)、高性能化(小型化・軽量化)、高効率化(同じ生産量に対するリソースの削減)、高効率化(生産性増加)
キーワード マスクレス、リソグラフィ、ミニマル、試作、MEMS
事業化状況 事業化に成功
事業実施年度 平成27年度~平成29年度

プロジェクトの詳細

事業概要

医療・環境など様々な用途で使用されるセンサーは、複雑な微小立体構造からなる。開発には試作の繰り返しが欠かせず、既存工場では量産優先のため、年単位の開発期間を要する。本事業では、半導体を数日で試作可能で、多品種小量生産に最適なミニマル生産システムの技術を活用し、センサー製造に欠かせない、両面アライメント機能付きミニマルマスクレス露光装置を開発する。これにより数日で試作を可能とするシステムを実現する

開発した技術のポイント

クリーンルームを必要とせず、わずか数日で生産が可能な多品種少量生産向け露光装置

(新技術)
極小サイズのミニマルマスクレス露光装置において、両面アライメント機能を実現

(新技術のポイント)
長期間を要する試行錯誤を必要とするMEMSデバイスの開発期間を大幅に短縮

具体的な成果

・両面アライメント機能の実現
ー 両面アライメントが必要なMEMSデバイスの試作評価に適用

・描画品質向上
ー 描画分解能向上:1μm(L/S) ⇒ 0.5μm(L/S)
ー 重ね合わせ精度向上

・高速化
ー スループット向上:320sec/枚 ⇒ 180sec/枚

両面アライメント機能付きミニマルマスクレス露光装置
0.5μmライン&スペース描画結果
知財出願や広報活動等の状況

特願2018-27519 「露光方法」

研究開発成果の利用シーン
両面アライメントが必要なデバイス例

コンパクトでクリーンルームが不要なミニマル規格に準拠したマスクレス露光装置によって、長期間を要するMEMSデバイスの試作開発に要する時間を劇的に短縮する。また、現実的なコストで極少量生産を可能とする。

実用化・事業化の状況

事業化状況の詳細

ミニマルマスクレス露光装置販売中
裏面アライメント精度向上のためのキャリブレーション機能開発中

提携可能な製品・サービス内容

製品製造

製品・サービスのPRポイント

・ミニマル規格に準拠したコンパクトな筐体に、裏面アライメント光学系を内蔵し、高精度の両面アライメントを実現したことで、MEMSデバイスの試作開発期間を劇的に短縮
・マスクレス露光による超短TATを実現

今後の実用化・事業化の見通し

2018年4月より両面アライメント機能付きミニマルマスクレス露光装置販売中
裏面アライメント精度向上のためのキャリブレーション機能開発中

プロジェクトの実施体制

サポイン事業者 株式会社ピーエムティー
事業管理機関 公益財団法人福岡県産業・科学技術振興財団
研究等実施機関 一般社団法人 ミニマルファブ推進機構
国立大学法人九州工業大学 大学院生命体工学研究科 生体機能応用工学専攻 安田研究室

サポイン事業者 企業情報

企業名 株式会社ピーエムティー(法人番号:7290001038525)
事業内容 精密部品の受託加工、精密金型の設計製作、FA機器の設計製作及び販売、環境事業、機能性食品材料の製造及び販売
社員数 135 名
本社所在地 〒811-2115 福岡県糟屋郡須惠町大字佐谷1705番地の1
ホームページ https://www.pm-t.com/
連絡先窓口 テクノロジーイノベーション部 入田亮一
メールアドレス irita@pm-t.com
電話番号 092-933-3110