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一般社団法人ミニマルファブ推進機構

事業管理機関情報

事業管理機関名 一般社団法人ミニマルファブ推進機構(法人番号:6050005012022)
所在地 〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 国立研究開発法人産業技術総合研究所 中央第2
主たる支援地域 北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県、茨城県、栃木県、群馬県、埼玉県、千葉県、東京都、神奈川県、新潟県、富山県、石川県、福井県、山梨県、長野県、岐阜県、静岡県、愛知県、三重県、滋賀県、京都府、大阪府、兵庫県、奈良県、和歌山県、鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県、福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県
ホームページ https://www.minimalfab.com/

相談対応窓口

担当部署名 事務局
TEL 029-898-9855
E-mail jimukyoku@minimalfab.com

支援実績

支援実績:
1 件
事業化実績:
0 件

ミニマルレーザ水素アニール装置と原子レベルアンチエイリアス(AAA)技術の研究開発

MEMSデバイスでは、ドライエッチング時に発生する表面荒れに起因した性能劣化が大きな課題であり、有効な表面平滑化技術が無い。そこで、革新的な表面平滑化処理を実現する水素アニールとレーザ加熱技術を融合したミニマルレーザ水素アニール装置を開発し、更にスキャロップの極めて小さいミニマル高速Boschプロセス技術と融合させることで、原子レベル超平滑化技術を開発し、高品質MEMSデバイス製造基盤を確立する。
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基盤技術分野 :

表面処理

事業化状況 :
実用化に成功し事業化間近