国立大学法人金沢大学 | 事業管理機関検索

事業管理機関情報

事業管理機関名	国立大学法人金沢大学（法人番号：2220005002604）
所在地	〒920-1192　石川県金沢市角間町ヌ7番地
主たる支援地域	石川県
ホームページ	https://www.kanazawa-u.ac.jp/

相談対応窓口

担当部署名	先端科学・社会共創推進機構
TEL	076-264-6111
E-mail	o-fsi@adm.kanazawa-u.ac.jp

支援実績

支援実績：: 1 件

事業化実績：: 0 件

大阪府

株式会社米倉製作所

ミニマル水プラズマアッシング装置の開発

半導体製造におけるレジスト膜を除去する手法としては従来、酸素プラズマ処理法と薬液処理法が用いられている。これらは、酸化ダメージやパーティクル発生により不良率が増加するなどの課題がある。これらの課題を解決するため、新たに水プラズマという手法を用いるレジスト除去方法を開発し、ミニマルファブ規格で装置化する。半導体デバイス製造工程に適用し、ユーザニーズを満たす新しいレジスト除去方法を実用化する
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基盤技術分野：: 表面処理

事業化状況　：: 実用化に成功し事業化間近